| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·微流控系统 | 第9-11页 |
| ·微流控芯片发展趋势与技术挑战 | 第11-13页 |
| ·替代工艺的研究现状 | 第13-14页 |
| ·二次流动刻蚀工艺 | 第14-15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-18页 |
| ·课题研究目标 | 第15-16页 |
| ·研究内容 | 第16页 |
| ·拟解决的关键问题 | 第16页 |
| ·技术路线 | 第16-18页 |
| 2 微尺度流体仿真理论基础 | 第18-25页 |
| ·微尺度流动理论基础 | 第18-21页 |
| ·微流体基本规律 | 第18-19页 |
| ·扩散系数D的定义 | 第19页 |
| ·对流-扩散方程 | 第19-20页 |
| ·微尺度流动特征 | 第20-21页 |
| ·多束微层流数值仿真研究 | 第21-25页 |
| ·微流道内基本方程 | 第21-23页 |
| ·数值方法 | 第23-25页 |
| 3 Y-sensor中两相层流交界面位置及分子扩散 | 第25-42页 |
| ·数学模型 | 第25-26页 |
| ·实验方案 | 第26-29页 |
| ·玻璃湿法刻蚀加工工艺 | 第26-28页 |
| ·可视化实验方案 | 第28-29页 |
| ·速度场 | 第29-32页 |
| ·蝴蝶效应 | 第32-35页 |
| ·交界面位置 | 第35-38页 |
| ·交界面扩散 | 第38-42页 |
| 4 二次流动刻蚀 | 第42-55页 |
| ·基本原理 | 第42-43页 |
| ·设计和制造 | 第43-45页 |
| ·实验过程 | 第45-47页 |
| ·结果及分析 | 第47-55页 |
| 5 结论与展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 攻读硕士期间取得的科研成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |