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过渡族元素掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的生长及其性能研究

致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-9页
目录第9-11页
1. 引言第11-13页
2. 绪论第13-29页
   ·ZnO的基本性质第13-15页
   ·材料的磁性第15-18页
     ·材料磁性的微观机理第15-16页
     ·材料磁性的分类第16-18页
     ·磁滞回线第18页
   ·稀磁半导体材料第18-25页
     ·稀磁半导体的特性第19-22页
     ·ZnO基稀磁半导体材料的研究进展第22-25页
   ·稀磁半导体材料的制备方法第25-27页
   ·稀磁半导体材料的研究进展第27-29页
3. 实验原理和实验过程第29-41页
   ·脉冲激光沉积技术(PLD)第29-31页
   ·脉冲激光沉积的基本原理第31-35页
   ·PLD技术优缺点第35页
   ·实验工艺过程第35-37页
     ·靶材的制备第35页
     ·衬底及清洗第35-36页
     ·薄膜的制备过程第36-37页
   ·样品的测试与表征第37-41页
     ·X射线衍射(XRD)第37-38页
     ·场发射扫描电镜(FE-SEM)第38页
     ·X射线光电子能谱(XPS)第38-39页
     ·同步辐射第39页
     ·超导量子干涉仪测试(SQUID)第39-41页
4. Ni掺杂ZnO薄膜的制备与表征第41-53页
   ·生长室氧压对薄膜性能的影响第41-46页
     ·形貌分析第41-42页
     ·成分分析第42-43页
     ·结构分析第43-44页
     ·光学性能分析第44-46页
     ·电学性能分析第46页
   ·靶材中的Ni含量对Ni掺杂ZnO薄膜性能的影响第46-53页
     ·靶材中的Ni含量对Ni掺杂ZnO薄膜表面形貌的影响第47-48页
     ·靶材中的Ni含量对Ni掺杂ZnO薄膜结构的影响第48-50页
     ·靶材中的Ni含量对Ni掺杂ZnO薄膜光学性能的影响第50-51页
     ·靶材中的Ni含量对Ni掺杂ZnO薄膜电学性能的影响第51-52页
     ·磁学性能分析第52-53页
5. 受主和施主元素对ZnNiO薄膜铁磁性的影响第53-68页
   ·Zn(Ni,Ga)O薄膜的制备与表征第53-59页
     ·Zn(Ni,Ga)O薄膜的制备第53页
     ·Zn(Ni,Ga)O薄膜的表面形貌和成分分析第53-54页
     ·薄膜的晶体结构分析第54-57页
     ·薄膜的电学和光学性能分析第57-59页
     ·薄膜的磁学性能分析第59页
   ·Zn(Ni,Na)O薄膜制备与性能研究第59-63页
     ·Zn(Ni,Na)O薄膜的形貌分析第60页
     ·Zn(Ni,Na)O薄膜的结构分析第60-62页
     ·Zn(Ni,Na)O薄膜的电学和磁性分析第62-63页
   ·不同p型增强稀磁半导体薄膜对比第63-66页
   ·导电类型对薄膜磁性的影响第66-68页
6 结论第68-69页
参考文献第69-76页
作者简历及在学期间所取得的科研成果第76页

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