| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第13-16页 |
| 1.2 光刻投影物镜波像差检测技术的国内外研究历史与现状 | 第16-30页 |
| 1.2.1 夏克-哈特曼法 | 第17-19页 |
| 1.2.2 点衍射干涉法 | 第19-23页 |
| 1.2.3 横向剪切干涉法 | 第23-30页 |
| 1.2.3.1 相位型光栅剪切干涉法 | 第23-25页 |
| 1.2.3.2 振幅型光栅剪切干涉法 | 第25-30页 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 | 第30-31页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第31-33页 |
| 第二章 棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理 | 第33-62页 |
| 2.1 剪切光栅的分析与选择 | 第33-39页 |
| 2.1.1 光栅衍射特性分析 | 第33-38页 |
| 2.1.1.1 朗奇光栅的衍射特性 | 第33-34页 |
| 2.1.1.2 交叉光栅的衍射特性 | 第34-36页 |
| 2.1.1.3 棋盘光栅的衍射特性 | 第36-38页 |
| 2.1.2 剪切光栅的选择 | 第38-39页 |
| 2.2 棋盘光栅剪切干涉仪的结构布局 | 第39-40页 |
| 2.3 棋盘光栅剪切干涉仪的相移模式 | 第40-52页 |
| 2.3.1 相移模式的干涉光强公式 | 第40-45页 |
| 2.3.2 相移模式的调制度函数 | 第45-47页 |
| 2.3.3 相移算法设计 | 第47-49页 |
| 2.3.4 相移模式的剪切干涉图处理方法 | 第49-52页 |
| 2.4 棋盘光栅剪切干涉仪的傅里叶变换模式 | 第52-61页 |
| 2.4.1 傅里叶变换模式的干涉光强公式 | 第54-59页 |
| 2.4.2 傅里叶变换模式的调制度函数 | 第59-61页 |
| 2.4.3 傅里叶变换模式的剪切干涉图处理方法 | 第61页 |
| 2.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第三章 剪切干涉仪仿真与算法验证 | 第62-77页 |
| 3.1 相移模式剪切干涉图的仿真 | 第62-72页 |
| 3.1.1 零级和一级衍射剪切干涉图仿真 | 第62-67页 |
| 3.1.2 零级、一级和三级衍射剪切干涉图仿真 | 第67-72页 |
| 3.2 傅里叶变换模式的剪切干涉图仿真 | 第72-76页 |
| 3.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 棋盘光栅剪切干涉测量系统误差分析 | 第77-99页 |
| 4.1 光栅制造误差 | 第77-79页 |
| 4.1.1 占空比误差 | 第77-78页 |
| 4.1.2 图形偏移误差 | 第78-79页 |
| 4.2 相移误差 | 第79-82页 |
| 4.3 剪切比误差 | 第82-85页 |
| 4.4 光瞳坐标误差 | 第85-90页 |
| 4.4.1 光瞳中心位置误差 | 第85-87页 |
| 4.4.2 光瞳半径误差 | 第87-90页 |
| 4.5 光瞳坐标畸变误差 | 第90-93页 |
| 4.6 系统装调误差 | 第93-98页 |
| 4.6.1 离焦引起的系统误差 | 第94-95页 |
| 4.6.2 光栅倾斜引起的系统误差 | 第95-97页 |
| 4.6.3 探测器倾斜引起的系统误差 | 第97-98页 |
| 4.7 本章小结 | 第98-99页 |
| 第五章 棋盘光栅剪切干涉仪实验 | 第99-121页 |
| 5.1 显微物镜波像差测量 | 第100-109页 |
| 5.1.1 NA0.25显微物镜波像差测量实验 | 第100-107页 |
| 5.1.1.1 相移模式 | 第100-103页 |
| 5.1.1.2 傅里叶变换模式 | 第103-106页 |
| 5.1.1.3 其它泰伯位置 | 第106-107页 |
| 5.1.2 NA0.4显微物镜波像差测量实验 | 第107-108页 |
| 5.1.2.1 相移模式 | 第107-108页 |
| 5.1.2.2 傅里叶变换模式 | 第108页 |
| 5.1.3 NA0.6显微物镜波像差测量实验 | 第108-109页 |
| 5.1.3.1 相移模式 | 第108-109页 |
| 5.1.3.2 傅里叶变换模式 | 第109页 |
| 5.2 波像差测量结果分析 | 第109-113页 |
| 5.2.1 测量结果的重复性比较 | 第109-110页 |
| 5.2.2 不同泰伯位置测量结果比较 | 第110-111页 |
| 5.2.3 不同光栅周期测量结果比较 | 第111-112页 |
| 5.2.4 两种模式的测量结果比较 | 第112-113页 |
| 5.3 系统误差标定 | 第113-116页 |
| 5.4 光瞳坐标畸变校正 | 第116-117页 |
| 5.5 照度衰减的影响 | 第117-120页 |
| 5.6 本章小结 | 第120-121页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第121-124页 |
| 6.1 全文总结 | 第121-122页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-134页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第134页 |