| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·课题的背景和意义 | 第13页 |
| ·半导体生产线描述 | 第13-15页 |
| ·半导体生产线调度研究现状 | 第15-18页 |
| ·投料控制 | 第15-16页 |
| ·工件调度 | 第16-18页 |
| ·设备维护调度 | 第18页 |
| ·论文组织结构 | 第18-21页 |
| 第二章 基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料策略 | 第21-35页 |
| ·模糊产生式规则和模糊Petri网 | 第21-23页 |
| ·模糊产生式规则 | 第21页 |
| ·模糊Petri网的定义 | 第21-22页 |
| ·模糊规则的FPN表示 | 第22页 |
| ·基于FPN模型的模糊推理 | 第22-23页 |
| ·基于模糊Petri网推理的半导体生产线在线投料 | 第23-30页 |
| ·投料FPN模型的建立 | 第23-27页 |
| ·半导体生产线在线投料机制 | 第27页 |
| ·FPN模型参数设置 | 第27-30页 |
| ·仿真实例 | 第30-34页 |
| ·Minifab模型仿真 | 第30-32页 |
| ·HP24模型仿真 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于模拟退火算法的半导体生产线调度 | 第35-45页 |
| ·基于模拟退火算法的调度 | 第35-37页 |
| ·模拟退火算法设计 | 第37-40页 |
| ·编码 | 第37页 |
| ·译码 | 第37-38页 |
| ·新解产生机制 | 第38页 |
| ·初温的设定 | 第38页 |
| ·目标函数 | 第38-39页 |
| ·降温规则 | 第39页 |
| ·算法终止判定准则 | 第39-40页 |
| ·仿真实例 | 第40-43页 |
| ·HP24模型仿真 | 第40-42页 |
| ·Minifab模型仿真 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第四章 基于自适应神经模糊推理系统的半导体生产线故障预测及维护调度 | 第45-55页 |
| ·自适应神经模糊推理系统 | 第45-48页 |
| ·ANFIS结构 | 第45-47页 |
| ·减法聚类 | 第47页 |
| ·ANFIS的学习算法 | 第47-48页 |
| ·ANFIS在半导体生产线设备故障预测中的应用 | 第48-52页 |
| ·ANFIS故障预测 | 第49-51页 |
| ·ANFIS故障预测用于半导体生产线设备维护调度 | 第51-52页 |
| ·仿真实例 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结和展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 作者和导师简介 | 第65-66页 |
| 附件 | 第66-67页 |