| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 旋转盘的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.1 水平式反应室 | 第13页 |
| 1.2.2 垂直式反应室 | 第13-15页 |
| 1.3 旋转盘振动补偿技术国内外研究 | 第15-19页 |
| 1.3.1 旋转盘运动MIMO建模方法 | 第15-18页 |
| 1.3.2 非线性建模理论 | 第18-19页 |
| 1.4 本论文主要研究内容及章节安排 | 第19-21页 |
| 第二章 旋转盘振动力学研究 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 旋转盘振动补偿原理机制 | 第21-24页 |
| 2.2.1 旋转盘工作原理 | 第21-23页 |
| 2.2.2 旋转盘振动补偿控制过程 | 第23-24页 |
| 2.3 旋转盘振动力学分析 | 第24-25页 |
| 2.4 旋转盘振动补偿控制对象 | 第25-27页 |
| 2.4.1 温度、气体流量影响分析 | 第25-26页 |
| 2.4.2 转速影响分析 | 第26-27页 |
| 2.4.3 材质影响分析 | 第27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 旋转盘振动补偿LS_SVM预测 | 第28-44页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 旋转盘振动补偿LS_SVM预测建模原理 | 第28-31页 |
| 3.2.1 LS_SVM回归原理 | 第28-30页 |
| 3.2.2. 旋转盘振动补偿LS_SVM预测建模框架 | 第30-31页 |
| 3.3 旋转盘振动补偿LS_SVM预测建模实现 | 第31-43页 |
| 3.3.1 旋转盘振动补偿LS_SVM预测模型构建 | 第31-35页 |
| 3.3.2 样本数据预处理 | 第35-37页 |
| 3.3.3 旋转盘振动补偿LS_SVM预测模型性能分析 | 第37-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 旋转盘运动控制系统设计 | 第44-51页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 旋转盘运动控制原理 | 第44-45页 |
| 4.3 旋转盘运动控制系统 | 第45-50页 |
| 4.3.1 旋转盘运动控制系统方案 | 第45-47页 |
| 4.3.2 旋转盘运动控制系统硬件设计 | 第47-48页 |
| 4.3.3 旋转盘运动控制系统软件设计 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 总结及展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读学位期间获得的科研成果 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
