MCM-D中的BCB介质工艺技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-15页
·MCM 技术的发展概况	第8-10页
·MCM 技术的出现及分类	第8-9页
·MCM 的应用及发展	第9-10页
·BCB 介质材料的应用情况	第10-12页
·本论文的选题和研究内容	第12-15页
·本论文的选题	第12-14页
·本论文研究的内容	第14-15页
第二章 BCB 膜厚控制研究	第15-27页
·介质成膜的工艺方法及应用	第15-16页
·BCB 介质膜厚均匀性控制	第16-20页
·均匀性	第16-20页
·设置低速旋转的影响	第18-19页
·流体量对均匀性的影响	第19-20页
·BCB 介质膜厚控制	第20-27页
第三章 BCB 固化工艺技术研究	第27-38页
·BCB 固化原理	第27-28页
·高温真空固化工艺技术研究	第28-35页
·固化曲线计算	第29-34页
·含氧量控制	第34-35页
·固化质量检测	第35-38页
第四章 BCB 刻蚀工艺技术研究	第38-45页
·等离子刻蚀原理	第38-39页
·设备选择	第39-40页
·BCB 刻蚀工艺研究	第40-45页
第五章 粘附性研究	第45-53页
·无机溶液清洗	第47-48页
·等离子清洗	第48-49页
·粘附性测试	第49-53页
第六章 样品制作	第53-55页
结论	第55-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-60页
攻硕期间取得的研究成果	第60-61页