| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第11页 |
| 1.3 半导体行业机器人的应用环境 | 第11-14页 |
| 1.4 真空硅片搬运机器人国内外发展情况 | 第14-19页 |
| 1.5 发展半导体行业搬运机器人的必要性 | 第19-20页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第20页 |
| 1.7 本章小结 | 第20-22页 |
| 第2章 真空硅片搬运机器人的传动和运动学分析 | 第22-34页 |
| 2.1 真空硅片搬运机器人的传动结构和运动分析 | 第22-25页 |
| 2.1.1 真空硅片搬运机器人的Z向运动 | 第22页 |
| 2.1.2 真空硅片搬运机器人的R向运动及推导 | 第22-25页 |
| 2.2 真空硅片搬运机器人的运动学分析 | 第25-33页 |
| 2.2.1 真空搬运机器人正问题 | 第25-28页 |
| 2.2.2 真空搬运机器人逆问题 | 第28-29页 |
| 2.2.3 真空搬运机器人速度和加速度分析 | 第29-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 真空硅片搬运机器人的动力学及有限元分析 | 第34-44页 |
| 3.1 前言 | 第34页 |
| 3.2 真空硅片搬运机器人的动力学分析 | 第34-37页 |
| 3.3 真空硅片搬运机器人的有限元分析 | 第37-43页 |
| 3.3.1 SolidWorks Simulation进行有限元分析的流程 | 第38页 |
| 3.3.2 机器人关键部件三维模型的简化 | 第38-39页 |
| 3.3.3 末端执行器的有限元分析 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 真空硅片搬运机器人的运动学和动力学仿真 | 第44-56页 |
| 4.1 真空硅片搬运机器人虚拟样机的建立 | 第44-47页 |
| 4.2 推算的验证 | 第47-49页 |
| 4.3 机器人速度规划 | 第49-50页 |
| 4.4 真空硅片搬运机器人的运动学仿真 | 第50-55页 |
| 4.5 真空硅片搬运机器人的动力学仿真 | 第55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 真空搬运机器人的误差与标定 | 第56-68页 |
| 5.1 真空硅片搬运机器人的标定原理及误差模型 | 第56-62页 |
| 5.1.1 真空硅片搬运机器人标定概述 | 第56-57页 |
| 5.1.2 直角坐标系间的微分运动 | 第57-58页 |
| 5.1.3 标定原理 | 第58-60页 |
| 5.1.4 真空硅片搬运机器人误差建模 | 第60-61页 |
| 5.1.5 多个点的处理 | 第61-62页 |
| 5.2 仿真验算 | 第62-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74页 |