芯片键合高速精密定位系统设计与控制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-21页 |
| ·XY 两自由度精密定位平台系统研究现状 | 第11-16页 |
| ·超声换能器研究现状 | 第16-19页 |
| ·键合头研究现状 | 第19-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 XY 定位平台系统设计 | 第23-35页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·XY 定位平台系统介绍 | 第23-25页 |
| ·XY 定位平台系统动态设计与分析 | 第25-34页 |
| ·XY 定位平台系统机械实体模型的建立 | 第26-28页 |
| ·机电联合仿真模型输入和输出的确定 | 第28-29页 |
| ·控制系统模型的构造 | 第29-30页 |
| ·定位平台系统动态设计 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 XY 定位平台控制器设计与仿真 | 第35-59页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·定位平台系统控制模型建立 | 第35-46页 |
| ·控制系统建模方法 | 第35-36页 |
| ·系统辨识的步骤 | 第36-37页 |
| ·定位平台系统辨识实验设计 | 第37-38页 |
| ·定位平台系统辨识模型预估 | 第38-42页 |
| ·数据采集 | 第42-43页 |
| ·模型结构的确定 | 第43-44页 |
| ·模型参数辨识 | 第44-45页 |
| ·模型验证 | 第45-46页 |
| ·控制器设计与仿真 | 第46-57页 |
| ·PID 控制器设计与仿真 | 第46-50页 |
| ·带摩擦和前馈补偿的PID 控制器设计与仿真 | 第50-52页 |
| ·比例切换滑模变结构控制器设计与仿真 | 第52-54页 |
| ·基于指数趋近律的滑模变结构控制器设计与仿真 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 高频压电超声换能器设计 | 第59-85页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·压电陶瓷及其振动模式 | 第59-62页 |
| ·逆压电效应 | 第59页 |
| ·压电方程 | 第59-61页 |
| ·压电陶瓷的振动模式 | 第61-62页 |
| ·换能器初始信息的确定 | 第62-69页 |
| ·机电等效电路法基本原理 | 第62页 |
| ·压电陶瓷及其晶堆的机电等效电路 | 第62-64页 |
| ·变截面细长棒的机电等效电路 | 第64-66页 |
| ·换能器各部分材料选择与几何参数数值求解 | 第66-69页 |
| ·换能器动力学优化设计与分析 | 第69-83页 |
| ·换能器有限元模型的建立 | 第70-71页 |
| ·单片陶瓷圆环谐振特性分析 | 第71页 |
| ·压电陶瓷晶堆谐振特性分析 | 第71-72页 |
| ·半波长压电振子优化设计与特性分析 | 第72-73页 |
| ·聚能器的优化设计与特性分析 | 第73-78页 |
| ·不带法兰夹持的换能器谐振特性分析 | 第78页 |
| ·带夹持法兰的换能器谐振特性分析 | 第78-82页 |
| ·预紧螺栓对换能器振动特性的影响 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第五章 旋转键合头设计与控制 | 第85-95页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·旋转键合头结构 | 第85-86页 |
| ·旋转键合头动力学特性研究 | 第86-90页 |
| ·键合头动力学特性分析 | 第86-88页 |
| ·键合头动力学特性测试 | 第88-90页 |
| ·旋转键合头控制器设计与仿真 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 定位系统实验研究与性能测试 | 第95-123页 |
| ·引言 | 第95页 |
| ·定位系统X 向平台控制器特性实验研究 | 第95-113页 |
| ·实验系统搭建 | 第95-97页 |
| ·控制系统硬件功能特点 | 第97-99页 |
| ·控制系统软件设计 | 第99-104页 |
| ·控制算法实验研究 | 第104-113页 |
| ·高频超声换能器系统性能测试 | 第113-118页 |
| ·阻抗特性测试 | 第113-116页 |
| ·激光多普勒测试 | 第116-118页 |
| ·旋转键合头运动性能实验研究 | 第118-122页 |
| ·键合头运动控制系统构成 | 第118-119页 |
| ·键合头运动性能测试 | 第119-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 第七章 全文结论 | 第123-127页 |
| ·结论 | 第123-125页 |
| ·工作展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-137页 |
| 参加的科研项目和完成的学术论文 | 第137-141页 |
| 致谢 | 第141页 |
