柔性基板横向偏移量控制方法研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·课题来源	第8页
·课题背景、目的及意义	第8-10页
·国内外研究状况	第10-12页
·本文主要研究内容	第12-14页
2 基板输送控制系统设计	第14-23页
·基板输送机构构成	第14-16页
·基板输送控制系统设计	第16-20页
·基板输送系统控制流程	第20-22页
·本章小结	第22-23页
3 基板横向偏移分析与建模	第23-35页
·基板横向偏移分析	第23页
·纠偏控制方法选择	第23-29页
·横向偏移模型建立	第29-32页
·模型参数分析	第32-34页
·本章小结	第34-35页
4 迭代学习纠偏控制研究	第35-42页
·前言	第35-36页
·迭代学习律	第36-37页
·迭代学习控制算法在纠偏控制中的应用	第37-38页
·迭代学习控制仿真	第38-41页
·本章小结	第41-42页
5 基板纠偏控制实现	第42-50页
·基板纠偏控制系统设计与实现	第42-46页
·控制器参数整定及实验结果	第46-49页
·本章小结	第49-50页
6 总结与展望	第50-52页
·全文总结	第50页
·研究展望	第50-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-56页
附录 攻读学位期间发表学术论文目录	第56页