| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10页 |
| ·单晶硅 | 第10-13页 |
| ·单晶硅简介 | 第10-12页 |
| ·试样的选择 | 第12页 |
| ·单晶硅压痕晶面的选择 | 第12-13页 |
| ·单晶硅的加工研究现状 | 第13-14页 |
| ·国内外的研究状况 | 第14-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 试验原理概述 | 第18-28页 |
| ·压痕试验原理概述 | 第18-22页 |
| ·静态压痕试验原理 | 第18-21页 |
| ·压痕断裂力学参数计算 | 第21-22页 |
| ·载荷静态、准静态、动态的划分 | 第22页 |
| ·分离式Hopkinson压杆试验概述 | 第22-24页 |
| ·分离式Hopkinson压杆试验原理 | 第22-23页 |
| ·分离式Hopkinson压杆试验成立的基本前提和假设 | 第23-24页 |
| ·动态压痕试验系统概述 | 第24-27页 |
| ·动态压痕试验原理 | 第24-27页 |
| ·动态压痕试验基本方程的推导 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 动态压痕试验系统的建立 | 第28-44页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·动态压痕试验装置的设计 | 第29-34页 |
| ·撞击杆和入射杆的设计 | 第29-30页 |
| ·发射装置的设计及固定 | 第30-31页 |
| ·脉冲捕捉器的设计 | 第31-33页 |
| ·金刚石压头与入射杆的连接设计 | 第33-34页 |
| ·动态压痕试验系统位移测量电路的设计 | 第34-42页 |
| ·应变片的选择 | 第34-36页 |
| ·应变测量电路设计 | 第36-39页 |
| ·金刚石压头位移测量装置的设计及材料应变率的计算 | 第39-42页 |
| ·动态压痕试验数据采集程序的设计 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 单晶硅静态压痕试验及结果分析 | 第44-50页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·试件的制备 | 第44页 |
| ·压痕的制备 | 第44-46页 |
| ·压痕试验所用设备 | 第44-45页 |
| ·压痕的制备 | 第45-46页 |
| ·试验结果分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 单晶硅动态压痕试验及结果分析 | 第50-55页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·试件材料的制备与固定 | 第50-51页 |
| ·试验过程及结果 | 第51-52页 |
| ·动态和静态压痕试验结果对比 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第60页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第60页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |