| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-15页 |
| ·概述 | 第8-9页 |
| ·国外研究概况 | 第9-11页 |
| ·国内研究概况 | 第11-13页 |
| ·研究内容和论文安排 | 第13-15页 |
| 2. 设备整体构成 | 第15-25页 |
| ·反应腔结构设计及模拟 | 第15-19页 |
| ·加热、冷却系统 | 第19-22页 |
| ·气体输运系统 | 第22页 |
| ·整体控制系统 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3. 气体输运系统设计方案 | 第25-38页 |
| ·源供给系统 | 第25-27页 |
| ·Run Vent 结构单元 | 第27-30页 |
| ·源管路系统 | 第30-32页 |
| ·吹扫气路系统 | 第32-33页 |
| ·尾气处理系统 | 第33-36页 |
| ·管路检漏 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4. 气体输运系统实现 | 第38-46页 |
| ·压力控制单元 | 第38-42页 |
| ·流量恒定的实现 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5. 总结与展望 | 第46-48页 |
| ·总结 | 第46-47页 |
| ·今后工作展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |