一种低精度光刻扫描器的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8-11页 |
| ·光刻工艺 | 第8页 |
| ·接触式光刻技术 | 第8-9页 |
| ·投影式光刻技术 | 第9-10页 |
| ·电子束刻蚀技术 | 第10-11页 |
| ·无掩模光刻技术 | 第11-13页 |
| ·研究现状 | 第11-12页 |
| ·研究意义 | 第12-13页 |
| ·无掩模光刻系统的总体框架 | 第13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 2 曝光原理与扫描方式 | 第14-27页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·电子束刻蚀曝光原理 | 第14-17页 |
| ·图形曝光方式 | 第14-16页 |
| ·各种方法比较 | 第16-17页 |
| ·扫描系统的总体方案 | 第17-24页 |
| ·拟采用的扫描方式 | 第17页 |
| ·扫描系统结构 | 第17页 |
| ·横向高速扫描运动的实现方法 | 第17-23页 |
| ·扫描图形的处理与精度分析 | 第23-24页 |
| ·关于对准问题的讨论 | 第24-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 3 弹簧振子扫描器的设计 | 第27-34页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·弹簧振子扫描器系统理论分析 | 第27-30页 |
| ·系统组成 | 第27-28页 |
| ·振子模型的建立与分析 | 第28-30页 |
| ·关于动力源的讨论 | 第30页 |
| ·动力源的设计 | 第30-33页 |
| ·能量补偿的方法 | 第30-31页 |
| ·动力源结构设计 | 第31-32页 |
| ·完整的横向扫描器系统的介绍 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 控制电路的设计与系统测试 | 第34-53页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·扫描器控制电路的设计 | 第34-45页 |
| ·系统工作整体思路的设计 | 第34页 |
| ·直流马达功率驱动电路的设计 | 第34-39页 |
| ·控制电路的设计 | 第39-44页 |
| ·控制电路设计中的其它细节问题 | 第44-45页 |
| ·动力源设计中的细节问题 | 第45-48页 |
| ·扫描器的构建与测试 | 第48-52页 |
| ·扫描器的构建 | 第48-49页 |
| ·扫描器的振动测试 | 第49-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 5 总结 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录 | 第58页 |
