多孔硅的湿度传感特性研究

摘要	第1-8页
Abstract	第8-12页
图片目录	第12-14页
表格目录	第14-15页
主要符号表	第15-16页
第一章 绪论	第16-27页
·传感器概述	第16-18页
·传感器的定义及组成	第16-17页
·传感器的分类与应用	第17-18页
·多孔硅传感器的研究背景	第18页
·多孔硅传感器的优势	第18-19页
·多孔硅传感器的发展概况	第19-24页
·国内外的发展现状	第19页
·多孔硅传感器的应用概况	第19-24页
·多孔硅传感器存在的问题	第24页
·论文的主要研究内容	第24-25页
参考文献	第25-27页
第二章 多孔硅薄膜的制备及表征	第27-36页
·多孔硅研究的背景及相关理论	第27-29页
·多孔硅的研究背景	第27页
·多孔硅的形成机制	第27-29页
·多孔硅的电流电压特性	第29页
·阳极氧化条件对多孔硅形成的影响	第29-31页
·实验装置及其制备过程、结果	第31-34页
·电化学阳极氧化腐蚀制备多孔硅的实验装置	第31页
·硅衬底及电解液	第31页
·表征工具	第31-32页
·电化学阳极氧化制备 P型多孔硅	第32页
·实验结果	第32-34页
·本章小结	第34页
参考文献	第34-36页
第三章 多孔硅湿度传感器的研究	第36-53页
·背景知识	第36-39页
·湿度及其表示方法	第36-37页
·湿度传感器及其特性参数	第37-39页
·实验设计	第39-42页
·传感器的制备	第39-40页
·湿度系统的标定	第40-41页
·传感器信号的测量	第41-42页
·实验过程、结果	第42-51页
·多孔硅湿度传感器的感湿特性测试	第42-45页
·多孔硅湿度传感器响应时间的测试	第45页
·多孔硅湿度传感器的再生特性测试	第45-47页
·多孔硅湿度传感器的阻抗特性测试与分析	第47-51页
·本章小结	第51-52页
参考文献	第52-53页
第四章 基于PTC加热恢复的多孔硅湿度传感器研究	第53-68页
·加热解吸附传感器的简介	第53页
·正温度系数电阻(PTC)的介绍	第53-58页
·PTC的发展概况简介	第53-56页
·PTC效应的理论基础	第56-57页
·PTC的优点	第57-58页
·实验设计	第58-59页
·基于PTC加热的多孔硅湿度传感器结构设计	第58-59页
·传感器信号的测试	第59页
·实验过程与结果讨论	第59-66页
·PTC元件加热过程描述	第59-63页
·基于PTC加热的多孔硅湿度传感器的测试过程	第63-66页
·实验结果讨论	第66页
·本章小结	第66-67页
参考文献	第67-68页
第五章 纳米氧化锌修饰的多孔硅传感器	第68-87页
·氧化锌的简介	第68-69页
·溶胶-凝胶法的介绍	第69-70页
·溶胶-凝胶法制备纳米氧化锌/多孔硅复合材料	第70-74页
·纳米氧化锌/多孔硅复合材料的制备	第70-72页
·纳米氧化锌的表征	第72-74页
·纳米氧化锌修饰的多孔硅湿度传感器	第74-79页
·纳米氧化锌修饰的多孔硅传感器的感湿特性测试	第74-76页
·纳米氧化锌修饰的多孔硅传感器的响应时间测试	第76-77页
·氧化锌浓度对湿度敏感特性的影响	第77-79页
·结果讨论	第79页
·基于PTC的纳米氧化锌/多孔硅气体传感器	第79-84页
·实验设计	第79-80页
·实验过程	第80-83页
·结果讨论	第83-84页
·本章小结	第84-85页
参考文献	第85-87页
第六章 总结及展望	第87-89页
1.多孔硅制备	第87页
2.方案的提出与实验的设计	第87页
3.测试结果与分析讨论	第87-89页
致谢	第89-90页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第90页