微流体分布式压力测量方法研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 论文研究的背景与意义 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.3 本文的主要工作内容 | 第22-24页 |
| 2 微流体分布式测压系统 | 第24-33页 |
| 2.1 分布式测压原理 | 第24-27页 |
| 2.2 压力敏感元件选型 | 第27-32页 |
| 2.2.1 敏感元件分类 | 第28-29页 |
| 2.2.2 压力芯片敏感元件选型 | 第29-30页 |
| 2.2.3 微压芯片的结构设计与制作 | 第30-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 微压系统的标定 | 第33-40页 |
| 3.1 标定方法和系统 | 第33-36页 |
| 3.2 标定结果及分析 | 第36-39页 |
| 3.2.1 标定曲线 | 第36-37页 |
| 3.2.2 标定函数 | 第37-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 气体分布式测压实验 | 第40-51页 |
| 4.1 实验与结果 | 第40-43页 |
| 4.2 理论分析 | 第43-46页 |
| 4.3 实验与理论比对分析 | 第46-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 测量不确定度评定 | 第51-63页 |
| 5.1 误差理论概述 | 第51-52页 |
| 5.1.1 误差的定义与表示 | 第51页 |
| 5.1.2 误差的分类 | 第51-52页 |
| 5.2 测量不确定度的定义与来源 | 第52页 |
| 5.3 测量不确定度和误差的区别与联系 | 第52-53页 |
| 5.3.1 测量不确定度和误差的区别 | 第52-53页 |
| 5.3.2 测量不确定度和误差的联系 | 第53页 |
| 5.4 测量不确定度评定方法 | 第53-58页 |
| 5.4.1 测量不确定度评定过程 | 第53-54页 |
| 5.4.2 建立数学模型 | 第54-55页 |
| 5.4.3 分析不确定度来源 | 第55页 |
| 5.4.4 测量不确定度A类评定方法 | 第55-56页 |
| 5.4.5 测量不确定度B类评定方法 | 第56-57页 |
| 5.4.6 合成标准不确定度与扩展不确定度的计算 | 第57-58页 |
| 5.5 压力测量误差的不确定度评定 | 第58-62页 |
| 5.5.1 压力测量模型 | 第58页 |
| 5.5.2 输入量的标准不确定度评定 | 第58-60页 |
| 5.5.3 合成标准不确定度的评定 | 第60页 |
| 5.5.4 扩展不确定度的评定 | 第60-61页 |
| 5.5.5 扩展不确定度结果报告 | 第61-62页 |
| 5.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 作者简历 | 第69页 |
