首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--半导体技术论文--一般性问题论文--材料论文--一般性问题论文

基于有限元的MOCVD基座不稳定温度场的研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
符号对照表第13-14页
缩略语对照表第14-18页
第一章 绪论第18-26页
    1.1 MOCVD概述第18-21页
        1.1.1 MOCVD的原理第18页
        1.1.2 MOCVD设备的简介第18-21页
    1.2 MOCVD数值模拟的研究现状第21-22页
        1.2.1 国外研究现状第21-22页
        1.2.2 国内研究现状第22页
    1.3 研究意义第22-23页
    1.4 本文的行文安排第23-26页
第二章 温度场数值计算方法第26-52页
    2.1 热传导基本原理第26-28页
        2.1.1 基本概念第26页
        2.1.2 傅里叶定律第26-27页
        2.1.3 柱坐标系下的热传导方程第27-28页
    2.2 热辐射及辐射换热原理第28-36页
        2.2.1 热辐射第28-29页
        2.2.2 辐射换热原理第29-30页
        2.2.3 可视因子的定义与性质第30-32页
        2.2.4 封闭腔热辐射换热计算第32-34页
        2.2.5 同轴环形面之间的可视因子计算第34-36页
    2.3 MOCVD石墨基座辐射加热的计算模型第36-37页
        2.3.1 材料的物性参数第36-37页
        2.3.2 基本假设第37页
        2.3.3 动态和非线性问题的处理第37页
    2.4 热传导方程的定解条件第37-38页
    2.5 石墨基座温度场的数值计算第38-50页
        2.5.1 有限元法的基本思想第38-39页
        2.5.2 有内热源的二维轴对称不稳定温度场的泛函第39-41页
        2.5.3 温度场的离散第41-43页
        2.5.4 单元的变分计算第43-46页
        2.5.5 单元矩阵的总体合成第46-48页
        2.5.6 时间的离散第48-49页
        2.5.7 温度场计算程序框图第49-50页
    2.6 本章小结第50-52页
第三章 有限元温度场分析系统的设计与实现第52-78页
    3.1 有限元温度场分析系统的需求分析第52页
    3.2 有限元温度场分析系统的总体设计第52-55页
        3.2.1 有限元温度场分析系统的基本流程第52-54页
        3.2.2 有限元温度场分析系统的功能模块划分第54-55页
        3.2.3 前后置处理与求解器的接口设计第55页
    3.3 有限元温度场分析系统的设计第55-67页
        3.3.1 前置处理模块的设计第55-63页
        3.3.2 求解计算模块的设计第63-66页
        3.3.3 后置处理模块的设计第66-67页
    3.4 开发环境的分析与确定第67-68页
    3.5 有限元温度场分析系统的可视化实现第68-76页
        3.5.1 定义结构参数的可视化第69-70页
        3.5.2 定义边界条件的可视化第70-71页
        3.5.3 定义热载荷的可视化第71页
        3.5.4 定义材料属性的可视化第71-72页
        3.5.5 定义截面数据、初始条件和计算步长的可视化第72-73页
        3.5.6 网格划分的可视化第73-74页
        3.5.7 生成作业文件的可视化第74-75页
        3.5.8 后置处理的可视化第75-76页
    3.6 本章小结第76-78页
第四章 有限元温度场数值模拟算法的验证第78-92页
    4.1 无空腔辐射换热的降温过程第78-82页
    4.2 有空腔辐射的升温过程第82-86页
    4.3 有空腔辐射的降温过程第86-91页
    4.4 本章小结第91-92页
第五章 石墨基座温度场的研究第92-102页
    5.1 石墨基座与加热器之间的距离对温度场的影响第93-95页
    5.2 石墨基座厚度对温度场的影响第95-96页
    5.3 加热圈数量对温度场的影响第96-98页
    5.4 加热功率对温度场的影响第98-99页
    5.5 加热圈宽度对温度场的影响第99-101页
    5.6 本章小结第101-102页
第六章 总结与展望第102-104页
参考文献第104-108页
致谢第108-110页
作者简介第110-111页

论文共111页,点击 下载论文
上一篇:FPGA芯片建模方法研究
下一篇:复杂环境中雷达站目标激光散射特性研究