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功率外壳粗铝丝键合可靠性工艺研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第11-16页
    1.1 背景与意义第11-12页
    1.2 主要研究内容的国内外研究现状第12-14页
        1.2.1 主要研究内容的国内研究现状第12-13页
        1.2.2 主要研究内容的国外研究现状第13-14页
    1.3 研究内容和安排第14-16页
2 厚膜功率电路键合可靠性第16-24页
    2.1 厚膜功率电路可靠性要求第16-18页
    2.2 厚膜功率电路键合可靠性问题第18-19页
    2.3 键合可靠性试验方法第19-23页
        2.3.1 键合拉力测试第19-21页
        2.3.2 键合剪切力测试第21-22页
        2.3.3 键合热应力测试第22页
        2.3.4 键合老炼测试第22-23页
    2.4 本章小结第23-24页
3 厚膜功率电路键合工艺技术第24-30页
    3.1 引线键合工艺技术概述第24-25页
    3.2 引线键合材料概述第25-27页
    3.3 厚膜功率电路键合技术第27-28页
        3.3.1 金带键合技术第27页
        3.3.2 粗铝丝键合技术第27-28页
        3.3.3 铝带键合技术第28页
        3.3.4 铜丝键合技术第28页
    3.4 本章小结第28-30页
4 功率外壳键合可靠性试验第30-38页
    4.1 试验方案第30-31页
        4.1.1 三种功率外壳简介第30页
        4.1.2 常规镀Au引线外壳键合可靠性试验方案第30-31页
        4.1.3 薄Au层引线外壳键合可靠性试验方案第31页
        4.1.4 厚镀Ni引线外壳键合可靠性试验方案第31页
    4.2 试验设备第31-33页
    4.3 试验材料和工具第33-35页
        4.3.1 铝丝材料第33页
        4.3.2 外壳材料第33-35页
        4.3.3 试验工具第35页
    4.4 粗铝丝键合质量检验第35-37页
    4.5 本章小结第37-38页
5 试验结果和分析第38-53页
    5.1 3种功率外壳键合参数试验第38-42页
        5.1.1 常规镀Au引线外壳键合参数试验第38-41页
        5.1.2 薄镀Au层引线外壳键合参数试验第41-42页
        5.1.3 厚镀Ni层引线外壳键合参数试验第42页
    5.2 3种功率外壳可承受的筛选条件试验第42-46页
        5.2.1 温度循环试验第43页
        5.2.2 机械冲击试验第43页
        5.2.3 恒定加速度试验第43页
        5.2.4 稳定性烘焙试验第43-45页
        5.2.5 筛选试验结果第45-46页
    5.3 3种功率外壳加电老炼试验第46-50页
        5.3.1 粗铝丝最大安全工作电流的确认第46页
        5.3.2 粗丝外引线老炼试验第46-49页
        5.3.3 老炼试验结果第49-50页
    5.4 3种功率外壳使用不同粗丝数量、电流下的对应壳温第50页
    5.5 可靠性相关的其它试验第50-52页
        5.5.1 引线柱尺寸对粗丝键合的影响试验第50-51页
        5.5.2 绝缘环氧对粗丝键合可靠性的影响第51页
        5.5.3 镍层氧化对键合可靠性的影响第51-52页
    5.6 本章小结第52-53页
6 结论第53-57页
攻读学位期间获奖和发表论文情况第57-58页
致谢第58-59页
参考文献第59-61页

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