| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 符号和缩略词说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-21页 |
| 1.2.1 晶圆传输机械手的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.2 晶圆传输末端执行器研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 课题来源 | 第21-22页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 基于加速度调节的晶圆传输面微观粘附机理 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 微观弹性接触理论 | 第23-26页 |
| 2.2.1 赫兹接触理论 | 第23-24页 |
| 2.2.2 Bradley接触理论 | 第24页 |
| 2.2.3 DMT理论 | 第24-25页 |
| 2.2.4 JKR理论 | 第25页 |
| 2.2.5 微观弹性分析的基本理论 | 第25-26页 |
| 2.3 理想状态下微结构的粘附机理 | 第26-30页 |
| 2.3.1 水平位姿状态下微结构粘附机理 | 第26-28页 |
| 2.3.2 加速度调节状态下微结构粘附机理 | 第28-30页 |
| 2.4 考虑微观变形下微结构粘附机理 | 第30-34页 |
| 2.4.1 晶圆接触面微观变形分析 | 第30-33页 |
| 2.4.2 考虑实际微观变形下微结构加速特性分析 | 第33-34页 |
| 2.5 粘附特性的Matlab仿真 | 第34-36页 |
| 2.5.1 加速特性仿真分析 | 第34-35页 |
| 2.5.2 粘附特性仿真分析 | 第35-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 末端执行器微结构阵列设计与分析 | 第37-49页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 微结构阵列与末端执行器传输性能的关系 | 第37-39页 |
| 3.2.1 末端执行器的最大传输加速度 | 第37-38页 |
| 3.2.2 末端执行器的最大粘附力 | 第38-39页 |
| 3.3 微结构阵列的设计与分析 | 第39-46页 |
| 3.3.1 圆柱体微结构阵列 | 第40-42页 |
| 3.3.2 长方体微结构阵列 | 第42-44页 |
| 3.3.3 圆锥体微结构阵列 | 第44-46页 |
| 3.4 微结构阵列接触时晶圆变形分析 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 末端执行器整体结构设计与优化 | 第49-64页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 末端执行器结构总体设计要求 | 第49-50页 |
| 4.3 末端执行器整体结构初步设计 | 第50-53页 |
| 4.3.1 末端执行器结构初步设计 | 第50-51页 |
| 4.3.2 初步设计结构的静力学分析 | 第51-53页 |
| 4.4 末端执行器结构的拓扑优化 | 第53-56页 |
| 4.4.1 拓扑优化的原理与步骤 | 第53-54页 |
| 4.4.2 末端执行器的拓扑优化 | 第54-56页 |
| 4.5 末端执行器结构动力学分析 | 第56-63页 |
| 4.5.1 结构动力学分析原理 | 第57-59页 |
| 4.5.2 末端执行器模态分析 | 第59-61页 |
| 4.5.3 末端执行器谐响应分析 | 第61-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 基于加速度调节的末端执行器性能仿真分析 | 第64-74页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 晶圆传输机械手末端执行器动力学仿真 | 第64-73页 |
| 5.2.1 虚拟样机技术 | 第64-65页 |
| 5.2.2 基于不同微结构阵列的末端执行器运动学仿真 | 第65-70页 |
| 5.2.3 基于加速度调节的末端执行器性能分析 | 第70-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 论文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 未来工作的展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |