| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器技术 | 第10-15页 |
| 1.2.1 气体传感器的分类 | 第11-13页 |
| 1.2.2 气体传感器存在的问题及发展趋势 | 第13-15页 |
| 1.3 石墨烯气体传感器的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.3.1 石墨烯简介 | 第15页 |
| 1.3.2 石墨烯及其气体传感器国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 电子鼻研究现状及发展前景 | 第17-20页 |
| 1.4.1 电子鼻简介 | 第17-19页 |
| 1.4.2 电子鼻研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4.3 电子鼻发展前景 | 第20页 |
| 1.5 电阻式气体传感器阵列的国内外研究现状 | 第20-23页 |
| 1.6 本文的研究内容及意义 | 第23-24页 |
| 第二章 气体传感器的基本工作原理及制备和测试方法 | 第24-28页 |
| 2.1 平面微叉指电极简介 | 第24-25页 |
| 2.2 气体传感器的主要性能参数 | 第25-26页 |
| 2.3 气敏测试系统的搭建 | 第26页 |
| 2.4 薄膜表征的分析方法 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 气体传感器阵列基础结构的制备 | 第28-35页 |
| 3.1 引言 | 第28-29页 |
| 3.2 气体传感器阵列的设计 | 第29-30页 |
| 3.3 传感器阵列的制备工艺流程 | 第30-34页 |
| 3.3.1 光刻 | 第31-32页 |
| 3.3.2 溅射镍铬过渡金属层 | 第32页 |
| 3.3.3 真空蒸发金层 | 第32页 |
| 3.3.4 剥离 | 第32-34页 |
| 3.3.5 封装 | 第34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 基于石墨烯的二氧化氮气体传感器阵列的性能研究 | 第35-48页 |
| 4.1 薄膜的制备 | 第35-37页 |
| 4.1.1 实验材料和仪器 | 第35-36页 |
| 4.1.2 材料制备 | 第36页 |
| 4.1.3 敏感薄膜的沉积 | 第36-37页 |
| 4.2 薄膜的气敏性能测试 | 第37-44页 |
| 4.2.1 传感器阵列对二氧化氮的响应-恢复特性 | 第38-39页 |
| 4.2.2 SnO_2/RGO复合膜的气敏特性测试 | 第39-44页 |
| 4.3 薄膜的表征与响应机理 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 基于石墨烯的氨气气体传感器阵列的性能研究 | 第48-59页 |
| 5.1 薄膜的制备 | 第48-49页 |
| 5.1.1 实验材料和仪器 | 第48-49页 |
| 5.1.2 材料制备 | 第49页 |
| 5.1.3 敏感薄膜的沉积 | 第49页 |
| 5.2 薄膜的气敏性能测试 | 第49-56页 |
| 5.2.1 传感器阵列对氨气的响应-恢复特性 | 第49-51页 |
| 5.2.2 ZnO-(SnO_2/RGO)分层膜的气敏特性测试 | 第51-56页 |
| 5.3 薄膜的表征和响应机理 | 第56-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论和展望 | 第59-61页 |
| 6.1 结论 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
