基于模糊策略的参数自整定迭代学习方法应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 直线电机及其控制方法的发展现状综述 | 第10-13页 |
| 1.2.2 迭代学习控制的发展现状综述 | 第13-14页 |
| 1.2.3 模糊控制方法的发展现状简介 | 第14-16页 |
| 1.2.4 遗传优化算法的发展现状简介 | 第16-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 光刻机工件台结构分析与电机建模 | 第19-30页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 光刻机整体结构及功能介绍 | 第19-20页 |
| 2.3 工件台结构和功能分析 | 第20-21页 |
| 2.4 运动曲线分析 | 第21-24页 |
| 2.5 实验直线电机的建模 | 第24-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 模糊迭代学习控制策略 | 第30-39页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 迭代学习初始条件分析 | 第30-31页 |
| 3.3 闭环PD迭代学习控制 | 第31-33页 |
| 3.3.1 闭环PD迭代学习控制律 | 第31-32页 |
| 3.3.2 闭环PD迭代学习控制仿真 | 第32-33页 |
| 3.4 模糊增益闭环PD迭代学习控制 | 第33-38页 |
| 3.4.1 模糊增益闭环PD迭代学习控制律原理 | 第33-34页 |
| 3.4.2 模糊控制器的设计 | 第34-37页 |
| 3.4.3 模糊增益闭环PD迭代学习控制的仿真 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 优化的模糊迭代学习控制策略设计 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 遗传算法优化模糊控制规则 | 第39-44页 |
| 4.2.1 遗传算法概述 | 第39-40页 |
| 4.2.2 遗传算法优化模糊规则 | 第40-44页 |
| 4.3 基于GA优化的模糊迭代学习控制的仿真 | 第44-49页 |
| 4.4 控制方法的比较与分析 | 第49-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 实验设计与分析 | 第53-62页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验环境介绍 | 第53-56页 |
| 5.2.1 上位机简介 | 第53-54页 |
| 5.2.2 下位机介绍 | 第54-55页 |
| 5.2.3 执行机构简介 | 第55页 |
| 5.2.4 工件台及运动控制卡工作流程 | 第55-56页 |
| 5.3 模糊迭代学习控制的实验验证 | 第56-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
