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半导体过程Run-to-Run控制方法研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
目录第6-8页
第1章 绪论第8-13页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第8-9页
    1.2 Run- to- Run 控制理论的研究现状第9-10页
    1.3 文章主要研究内容及结构安排第10-13页
第2章 基础理论第13-21页
    2.1 时间序列第13-14页
    2.2 EWMA 控制第14-20页
        2.2.1 single EWMA 控制的算法及其稳定性第14-16页
        2.2.2 single EWMA 在几种典型扰动下的性能第16-20页
    2.3 本章小结第20-21页
第3章 变折扣因子 single EWMA 控制器的设计第21-34页
    3.1 single EWMA 变折扣因子控制器第21-23页
    3.2 改进的 single EWMA 变折扣因子控制器第23-29页
        3.2.1 平稳序列的变折扣因子 single EWMA 控制器设计第23-26页
        3.2.2 非平稳序列的变折扣因子 single EWMA 控制器设计第26-29页
    3.3 变折扣因子 single EWMA 控制器算法的有效性分析第29-33页
    3.4 本章小结第33-34页
第4章 变折扣因子 Double EWMA 控制器的设计第34-52页
    4.1 Double EWMA 控制算法及稳定性第34-36页
    4.2 Double EWMA 控制器的折扣因子的稳定域第36-37页
    4.3 Double EWMA 变折扣因子控制器设计第37-49页
        4.3.1 平稳序列的变折扣因子 double EWMA 控制器设计第39-45页
        4.3.2 非平稳序列的变折扣因子 double EWMA 控制器设计第45-49页
    4.4 变折扣因子 double EWMA 控制器算法的有效性分析第49-51页
    4.5 本章小结第51-52页
结论第52-54页
参考文献第54-59页
致谢第59页

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