| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 导论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 缺陷检测的思路及方法 | 第9-12页 |
| 第2章 缺陷检测设备的研究 | 第12-34页 |
| 2.1 缺陷自动检测设备KLA设备的基本概念和原理 | 第12-17页 |
| 2.1.1 缺陷自动检测设备KLA设备的基本概念 | 第12-13页 |
| 2.1.2 缺陷自动检测设备KLA设备的主要参数指标 | 第13页 |
| 2.1.3 缺陷自动检测设备KLA设备的内部光学结构及扫描方式 | 第13-15页 |
| 2.1.4 缺陷自动检测设备KLA设备的缺陷检测原理 | 第15-17页 |
| 2.2 缺陷自动检测设备KLA设备的参数设定 | 第17-23页 |
| 2.2.1 KLA设备的操作界面 | 第17-19页 |
| 2.2.2 KLA设备测试文件做成的参数设定 | 第19-23页 |
| 2.3 缺陷自动检测设备AIT设备的基本概念和原理 | 第23-25页 |
| 2.3.1 缺陷自动检测设备AIT设备的基本概念 | 第23页 |
| 2.3.2 缺陷自动检测设备AIT设备的原理 | 第23-25页 |
| 2.4 缺陷自动检测设备AIT设备的参数设定 | 第25-29页 |
| 2.5 其它缺陷检查设备相关 | 第29-34页 |
| 2.5.1 Review station | 第29-33页 |
| 2.5.2 SEMVision | 第33页 |
| 2.5.3 Klarity | 第33-34页 |
| 第3章 缺陷分析方法的研究 | 第34-47页 |
| 3.1 趋势图分析方法 | 第34-36页 |
| 3.2 缺陷库设计及查找分析方法 | 第36-41页 |
| 3.2.1 缺陷库设计的目的 | 第36-37页 |
| 3.2.2 缺陷库的主要功能 | 第37页 |
| 3.2.3 缺陷库的优势 | 第37页 |
| 3.2.4 缺陷库的内容 | 第37-38页 |
| 3.2.5 缺陷库具体模块信息 | 第38-40页 |
| 3.2.6 缺陷库实际应用 | 第40-41页 |
| 3.3 指定时间设备缺陷监控系统分析方法 | 第41-47页 |
| 3.3.1 指定时间设备缺陷监控系统设计的目的 | 第41页 |
| 3.3.2 指定时间设备缺陷监控系统的主要功能 | 第41-42页 |
| 3.3.3 指定时间设备缺陷监控系统的优势 | 第42页 |
| 3.3.4 指定时间设备缺陷监控系统的内容 | 第42-43页 |
| 3.3.5 指定时间设备缺陷监控系统具体模块信息 | 第43-44页 |
| 3.3.6 指定时间设备缺陷监控系统的实际应用 | 第44-45页 |
| 3.3.7 指定时间设备缺陷监控系统的方案实施原则 | 第45-47页 |
| 第4章 具体案例分析 | 第47-51页 |
| 4.1 刻蚀残留缺陷案例 | 第47-49页 |
| 4.1.1 缺陷检测KLA设备参数设定 | 第47-48页 |
| 4.1.2 刻蚀残留缺陷模式的分析及改善 | 第48-49页 |
| 4.2 表面颗粒缺陷案例 | 第49-51页 |
| 4.2.1 缺陷检测AIT设备参数设定 | 第49页 |
| 4.2.2 表面颗粒缺陷模式的分析及改善 | 第49-51页 |
| 第5章 结论与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
