3C-SiC压阻式压力传感器研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-5页
目录	第5-7页
第一章 绪论	第7-13页
·研究背景与意义	第7-10页
·SiC 传感器研究进展	第10-12页
·3C-SiC 材料的特性	第10-11页
·SiC 压力传感器的国外发展现状	第11页
·国内发展现状与面临的挑战	第11-12页
·本文的主要研究内容	第12-13页
第二章 Si 衬底上外延生长 3C-SiC 薄膜	第13-17页
·3C-SiC 薄膜的生长工艺	第13-14页
·ASE 法生长 3C-SiC 薄膜	第14-16页
·本章小结	第16-17页
第三章 3C-SiC 薄膜力学性能表征	第17-47页
·纳米压痕法测薄膜硬度和杨氏模量	第17-27页
·硬度和杨氏模量的测量方法	第17-19页
·准静态压痕法	第19-23页
·连续刚度测量法	第23-27页
·微结构法测薄膜残余应力	第27-45页
·残余应力的来源	第27-28页
·残余应力的测量方法	第28-29页
·弯臂梁测试结构	第29-36页
·版图设计与工艺研究	第36-45页
·本章小结	第45-47页
第四章 3C-SiC 压阻式压力传感器的设计	第47-69页
·3C-SiC 的压阻效应	第47-51页
·3C-SiC 与金属的欧姆接触	第51-54页
·传感器的结构参数设计	第54-63页
·压阻式压力传感器的工作原理	第54-57页
·弹性膜片的设计	第57-59页
·压敏电阻的设计	第59-63页
·传感器的版图与工艺设计	第63-68页
·传感器的版图设计	第63-66页
·传感器的工艺设计	第66-68页
·本章小结	第68-69页
第五章 结束语	第69-71页
致谢	第71-73页
参考文献	第73-79页
攻读硕士期间参加的科研项目和科研成果	第79-81页