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硅纳米线阵列磁控溅射镍膜上化学气相沉积(CVD)石墨烯的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
第一章 绪论第10-16页
 §1.1 引言第10-11页
 §1.2 石墨烯(graphene)的结构与基本性质第11-13页
     ·力学性质第11-12页
     ·热学性质第12页
     ·光学性质第12页
     ·电学性质第12-13页
 §1.3 石墨烯制备方法研究进展第13-15页
 §1.4 本论文研究的内容第15-16页
第二章 石墨烯CVD法制备及表征第16-23页
 §2.1 生长石墨烯的冷壁腔化学气相沉积(Cold-wall CVD)系统第16-17页
 §2.2 石墨烯CVD实验过程第17-18页
 §2.3 石墨烯在Ni上的生长机制第18-19页
 §2.4 拉曼光谱表征石墨烯第19-21页
 §2.5 扫描电子显微镜表征石墨烯第21-23页
第三章 在镍箔表面CVD生长高质量均匀双层石墨烯第23-27页
 §3.1 实验过程第23-24页
 §3.2 结果与讨论第24-26页
 §3.3 小结第26-27页
第四章 磁控溅射金属CVD法生长石墨烯第27-31页
 §4.1 磁控溅射镍基底上CVD生长石墨烯第27页
 §4.2 磁控溅射铜基底上CVD生长石墨烯第27-28页
 §4.3 结果与讨论第28-30页
 §4.4 小结第30-31页
第五章 硅纳米线阵列溅射镍膜CVD法生长石墨烯第31-39页
 §5.1 硅纳米线阵列(Silicon nanowire arrays)及其制备方法第31页
 §5.2 硅纳米线阵列溅射镍膜CVD法生长石墨烯实验过程第31-33页
 §5.3 结果与讨论第33-38页
 §5.4 小结第38-39页
参考文献第39-43页
致谢第43-44页
硕士期间发表学术论文第44页

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