基于DSP的非接触薄膜厚度在线测量系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·研究的目的及意义 | 第8-9页 |
| ·各种非在线和在线测厚技术发展状况 | 第9-11页 |
| ·非在线测厚 | 第10页 |
| ·在线测厚 | 第10-11页 |
| ·本课题的国内外现状综述 | 第11-12页 |
| ·国外现状综述 | 第11-12页 |
| ·国内现状综述 | 第12页 |
| ·论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 系统的设计方案及工程实现 | 第13-29页 |
| ·传感器的选择及工作原理 | 第13-16页 |
| ·传感器的工作原理 | 第13-16页 |
| ·ZS-L系列传感器 | 第16页 |
| ·测量框架的描述 | 第16-17页 |
| ·薄膜厚度在线检测系统整体结构 | 第17-18页 |
| ·薄膜厚度在线检测系统原理及硬件电路设计 | 第18-26页 |
| ·DSP系统及外围电路介绍 | 第18-20页 |
| ·电源模块 | 第20-21页 |
| ·数据采集模块 | 第21-24页 |
| ·终端显示操作模块 | 第24页 |
| ·电机控制模块 | 第24-26页 |
| ·硬件抗干扰技术及措施 | 第26-28页 |
| ·电磁屏蔽 | 第27页 |
| ·PCB抗干扰设计 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 薄膜厚度在线检测系统的高精度设计 | 第29-42页 |
| ·模拟滤波设计 | 第29页 |
| ·数字滤波设计 | 第29-37页 |
| ·常见的数字滤波 | 第30-32页 |
| ·薄膜厚度在线检测系统数字滤波方案及软件实现 | 第32-37页 |
| ·结果分析 | 第37-41页 |
| ·模拟滤波结果分析 | 第37-38页 |
| ·数字滤波结果分析 | 第38-39页 |
| ·电源对测量结果的影响 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 薄膜厚度在线检测系统软件设计 | 第42-59页 |
| ·软件开发工具选择 | 第42页 |
| ·底层控制软件设计 | 第42-48页 |
| ·系统介绍 | 第42-43页 |
| ·模块介绍 | 第43-48页 |
| ·上层界面软件设计 | 第48-58页 |
| ·软件框架 | 第48-49页 |
| ·模块功能介绍及软件实现 | 第49-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
