IC制造装备中专用机器人运动学分析与设计
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题研究意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-14页 |
| ·硅片传输机器人发展现状 | 第7-9页 |
| ·搬运机器人发展现状 | 第9-12页 |
| ·关键技术研究现状及分析 | 第12-14页 |
| ·研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 运动学分析及尺度综合 | 第16-27页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·机构介绍 | 第16-17页 |
| ·运动学分析 | 第17-20页 |
| ·位置逆解模型 | 第17-18页 |
| ·位置正解模型 | 第18页 |
| ·速度模型及奇异位形分析 | 第18-20页 |
| ·尺度综合 | 第20-26页 |
| ·工作空间及尺度参数关系 | 第20-21页 |
| ·性能指标 | 第21-22页 |
| ·约束条件 | 第22-23页 |
| ·全域性能指标构造及分析 | 第23-25页 |
| ·工程计算 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 伺服电机参数预估 | 第27-36页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·刚体逆动力学模型 | 第27-29页 |
| ·伺服电机参数预估 | 第29-31页 |
| ·主动关节峰值速度预估模型 | 第29页 |
| ·主动关节峰值转矩预估模型 | 第29-30页 |
| ·伺服电机转子惯量的校核模型 | 第30-31页 |
| ·参数计算及伺服电机选取 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 轨迹规划 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·逆动力学模型的参数化 | 第36-37页 |
| ·目标函数 | 第37页 |
| ·约束条件 | 第37-40页 |
| ·系统约束 | 第37-38页 |
| ·工作约束 | 第38-40页 |
| ·几何路径 | 第40-42页 |
| ·轨迹规划步骤 | 第42页 |
| ·实例计算 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 全文结论及工作展望 | 第47-49页 |
| ·结论 | 第47页 |
| ·工作展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
