| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 课题研究背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.3 差压变送器静压影响的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 差压变送器发展的历史阶段 | 第12页 |
| 1.3.2 智能差压变送器按原理分类 | 第12-13页 |
| 1.3.3 智能差压变送器各主要厂家主要产品技术指标 | 第13-14页 |
| 1.3.4 国内外关于差压变送器研究概况 | 第14页 |
| 1.3.5 国内外关于静压对差压变送器测量精度的影响研究 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文研究的主要内容及研究意义 | 第16-18页 |
| 1.4.1 本论文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 1.4.2 本论文研究的主要意义 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 高精度MEMS硅差压变送器的总体结构工作原理及静压影响 | 第19-37页 |
| 2.0 引言 | 第19页 |
| 2.1 硅差压变送器的组成结构 | 第19-21页 |
| 2.2 硅差压变送器工作原理 | 第21-30页 |
| 2.2.1 压阻效应 | 第22-24页 |
| 2.2.2 力敏芯片的版图设计 | 第24-29页 |
| 2.2.3 差压传感器中硅差压芯片 | 第29-30页 |
| 2.3 硅差压变送器的主要技术指标 | 第30-31页 |
| 2.4 静压对差压变送器精度的影响 | 第31-36页 |
| 2.4.1 差压变送器中的静压与差压 | 第31-32页 |
| 2.4.2 差压传感器的静态特性 | 第32-34页 |
| 2.4.3 差压变送器精度影响因素的分析 | 第34页 |
| 2.4.4 静压影响 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 高精度MEMS硅差压变送器静压敏感部位受力理论推导及有限元分析 | 第37-63页 |
| 3.0 引言 | 第37页 |
| 3.1 硅差压传感器承压弹性膜力学分析理论基础 | 第37-41页 |
| 3.1.1 研究对象 | 第37-38页 |
| 3.1.2 弹性力学理论分析基础 | 第38页 |
| 3.1.3 弹性问题近似求解的虚功原理、最小势能原理 | 第38-39页 |
| 3.1.4 薄板弯曲理论简化需要的基本假设 | 第39页 |
| 3.1.5 薄板弯曲微分方程 | 第39-40页 |
| 3.1.6 小绕度薄板理论 | 第40-41页 |
| 3.2 硅差压传感器承压弹性膜力学计算推导 | 第41-45页 |
| 3.3 硅压力传感器压力敏感部位的有限元仿真分析 | 第45-49页 |
| 3.3.1 传感器硅片部分结构应力分析 | 第45-49页 |
| 3.4 与硅芯片直接相连传感器基座的受力分析及结构优化 | 第49-54页 |
| 3.4.1 传感器基座结构受力分析 | 第49-52页 |
| 3.4.2 硅芯片安装优化方案 | 第52页 |
| 3.4.3 硅芯片与基座组件的有限元仿真分析 | 第52-54页 |
| 3.5 硅片安装结构优化方案的有限元仿真及实验 | 第54-62页 |
| 3.5.1 优化方案一的有限元仿真分析 | 第55-57页 |
| 3.5.2 优化方案二的有限元仿真及实验 | 第57-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 高精度MEMS硅差压变送器静压差压实验及建立补偿数学模型 | 第63-78页 |
| 4.0 引言 | 第63页 |
| 4.1 可用于差压变送器静压差压实验的装置研究 | 第63-66页 |
| 4.1.1 高静压气体差压活塞式压力计 | 第63-64页 |
| 4.1.2 数字式手动压力检测装置 | 第64-65页 |
| 4.1.3 差压变送器静压漂移测试装置 | 第65-66页 |
| 4.2 硅差压变送器静压差压试验装置 | 第66-69页 |
| 4.2.1 硅差压变送器静压差压试验器材 | 第66-67页 |
| 4.2.2 硅差压变送器静压差压测试步骤 | 第67-69页 |
| 4.3 硅差压变送器静压差压试验测试结果及补偿数学模型的建立 | 第69-75页 |
| 4.3.1 硅差压变送器静压差压试验测试结果 | 第69-70页 |
| 4.3.2 静压误差补偿数学模型的建立 | 第70-75页 |
| 4.4 MATLAB计算程序 | 第75-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 高精度MEMS硅差压变送器静压差压测试系统的不确定度分析 | 第78-83页 |
| 5.0 引言 | 第78页 |
| 5.1 测量不确定评定的步骤 | 第78-79页 |
| 5.2 本硅差压变送器静压差压测试系统不确定度的分析与评定 | 第79-82页 |
| 5.2.1 确定本测试系统的测量方法 | 第79页 |
| 5.2.2 本测试系统测量不确定度的来源分析 | 第79-80页 |
| 5.2.3 硅差压变送器测量误差的数学模型 | 第80页 |
| 5.2.4 各不确定度分量的计算 | 第80-81页 |
| 5.2.5 合成标准不确定度u(c) | 第81-82页 |
| 5.2.6 扩展不确定度评定 | 第82页 |
| 5.2.7 不确定度评定结果报告 | 第82页 |
| 5.3 本章小结 | 第82-83页 |
| 结论与展望 | 第83-86页 |
| 6.1 结论 | 第83-84页 |
| 6.2 展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 附件 | 第92页 |
