摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-19页 |
1.1 引言 | 第10-11页 |
1.2 MEMS 气敏传感器的研究进展及现状 | 第11-15页 |
1.2.1 MEMS 气敏传感器的研究进展 | 第11-14页 |
1.2.2 MEMS 气敏传感器的研究现状 | 第14-15页 |
1.3 气体传感器及其阵列的研究进展 | 第15-17页 |
1.3.1 气体传感器概述 | 第15页 |
1.3.2 气体传感器阵列的研究进展 | 第15-17页 |
1.4 本论文的研究内容及意义 | 第17-19页 |
第二章 微气体传感器制备工艺及敏感材料研究 | 第19-32页 |
2.1 MEMS 技术 | 第19-25页 |
2.1.1 MEMS 概述 | 第19页 |
2.1.2 MEMS 设计 | 第19-20页 |
2.1.3 MEMS 材料 | 第20页 |
2.1.4 MEMS 器件加工工艺 | 第20-25页 |
2.2 高分子/无机纳米复合气敏材料 | 第25-31页 |
2.2.1 高分子/碳黑复合气敏材料 | 第27-28页 |
2.2.2 高分子/碳纳米管复合气敏材料 | 第28-30页 |
2.2.3 高分子/其它纳米粒子复合气敏材料 | 第30-31页 |
2.3 本章小结 | 第31-32页 |
第三章 “微井”结构气体传感器阵列基础结构的制备 | 第32-45页 |
3.1 引言 | 第32页 |
3.2 基于“微井”结构的气体传感器阵列的设计及制备流程 | 第32-34页 |
3.2.1 基于“微井”结构的气体传感器阵列的设计及材料的选择 | 第32-33页 |
3.2.2 传感器阵列的制备流程 | 第33-34页 |
3.3 基于“微井”结构的气体传感器阵列的制备 | 第34-44页 |
3.3.1 掩膜板的设计 | 第34-35页 |
3.3.2 硅片的清洗 | 第35页 |
3.3.3 氮化硅掩膜层的制备 | 第35-36页 |
3.3.4 “微井”的形成 | 第36-41页 |
3.3.5 叉指电极的制备 | 第41-42页 |
3.3.6 聚酰亚胺隔离层的制备 | 第42-43页 |
3.3.7 划片与封装 | 第43-44页 |
3.4 本章小结 | 第44-45页 |
第四章 基于“微井”结构的气体传感器阵列的气敏性研究 | 第45-61页 |
4.1 引言 | 第45-46页 |
4.2 基于 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合膜传感器阵列的制备 | 第46-49页 |
4.2.1 实验原料及仪器 | 第46-47页 |
4.2.2 气喷工艺概述 | 第47-48页 |
4.2.3 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合材料的制备 | 第48-49页 |
4.2.4 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合薄膜的传感器阵列的制备 | 第49页 |
4.3 传感器阵列对甲苯和甲醇的敏感性测试与分析 | 第49-59页 |
4.3.1 传感器阵列的测试系统 | 第49-50页 |
4.3.2 传感器阵列对甲苯的气敏性测试 | 第50-53页 |
4.3.3 传感器阵列对甲醇的气敏性测试 | 第53-56页 |
4.3.4 PVP/CNTs 和 PEO/CNTs 复合敏感膜对甲苯、甲醇反应的比较 | 第56-58页 |
4.3.5 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合薄膜的表征与分析 | 第58-59页 |
4.4 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 薄膜的气敏机理 | 第59页 |
4.5 本章小结 | 第59-61页 |
第五章 结论和展望 | 第61-63页 |
5.1 结论 | 第61页 |
5.2 展望 | 第61-63页 |
致谢 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-71页 |
攻读硕士学位期间的研究成果 | 第71-72页 |