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基于“微井”结构的气体传感器的制备

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 MEMS 气敏传感器的研究进展及现状第11-15页
        1.2.1 MEMS 气敏传感器的研究进展第11-14页
        1.2.2 MEMS 气敏传感器的研究现状第14-15页
    1.3 气体传感器及其阵列的研究进展第15-17页
        1.3.1 气体传感器概述第15页
        1.3.2 气体传感器阵列的研究进展第15-17页
    1.4 本论文的研究内容及意义第17-19页
第二章 微气体传感器制备工艺及敏感材料研究第19-32页
    2.1 MEMS 技术第19-25页
        2.1.1 MEMS 概述第19页
        2.1.2 MEMS 设计第19-20页
        2.1.3 MEMS 材料第20页
        2.1.4 MEMS 器件加工工艺第20-25页
    2.2 高分子/无机纳米复合气敏材料第25-31页
        2.2.1 高分子/碳黑复合气敏材料第27-28页
        2.2.2 高分子/碳纳米管复合气敏材料第28-30页
        2.2.3 高分子/其它纳米粒子复合气敏材料第30-31页
    2.3 本章小结第31-32页
第三章 “微井”结构气体传感器阵列基础结构的制备第32-45页
    3.1 引言第32页
    3.2 基于“微井”结构的气体传感器阵列的设计及制备流程第32-34页
        3.2.1 基于“微井”结构的气体传感器阵列的设计及材料的选择第32-33页
        3.2.2 传感器阵列的制备流程第33-34页
    3.3 基于“微井”结构的气体传感器阵列的制备第34-44页
        3.3.1 掩膜板的设计第34-35页
        3.3.2 硅片的清洗第35页
        3.3.3 氮化硅掩膜层的制备第35-36页
        3.3.4 “微井”的形成第36-41页
        3.3.5 叉指电极的制备第41-42页
        3.3.6 聚酰亚胺隔离层的制备第42-43页
        3.3.7 划片与封装第43-44页
    3.4 本章小结第44-45页
第四章 基于“微井”结构的气体传感器阵列的气敏性研究第45-61页
    4.1 引言第45-46页
    4.2 基于 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合膜传感器阵列的制备第46-49页
        4.2.1 实验原料及仪器第46-47页
        4.2.2 气喷工艺概述第47-48页
        4.2.3 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合材料的制备第48-49页
        4.2.4 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合薄膜的传感器阵列的制备第49页
    4.3 传感器阵列对甲苯和甲醇的敏感性测试与分析第49-59页
        4.3.1 传感器阵列的测试系统第49-50页
        4.3.2 传感器阵列对甲苯的气敏性测试第50-53页
        4.3.3 传感器阵列对甲醇的气敏性测试第53-56页
        4.3.4 PVP/CNTs 和 PEO/CNTs 复合敏感膜对甲苯、甲醇反应的比较第56-58页
        4.3.5 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 复合薄膜的表征与分析第58-59页
    4.4 PEO/CNTs 和 PVP/CNTs 薄膜的气敏机理第59页
    4.5 本章小结第59-61页
第五章 结论和展望第61-63页
    5.1 结论第61页
    5.2 展望第61-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-71页
攻读硕士学位期间的研究成果第71-72页

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