| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 课题国内外研究现状分析 | 第11-14页 |
| 1.2.1 状态估计器的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 整体状态估计算法的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 课题研究目标及内容 | 第14-15页 |
| 1.4 本文结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 EWMA控制器 | 第17-23页 |
| 2.1 EWMA算法 | 第17页 |
| 2.2 半导体制程中的EWMA控制器 | 第17-20页 |
| 2.3 性能分析 | 第20页 |
| 2.4 仿真实验 | 第20-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 混合半导体制程EWMA控制器研究 | 第23-44页 |
| 3.1 混合半导体制程简介 | 第23-24页 |
| 3.2 混合半导体制程模型 | 第24-25页 |
| 3.3 基于机台的EWMA控制器研究 | 第25-36页 |
| 3.3.1 算法介绍 | 第25-26页 |
| 3.3.2 性能分析 | 第26-33页 |
| 3.3.3 仿真实验 | 第33-36页 |
| 3.4 基于产品的EWMA控制器研究 | 第36-42页 |
| 3.4.1 算法介绍 | 第36-38页 |
| 3.4.2 性能分析 | 第38-41页 |
| 3.4.3 仿真实验 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 新型EWMA控制器的设计 | 第44-56页 |
| 4.1 整体方案的设计 | 第44-47页 |
| 4.2 漂移项的估计算法 | 第47-48页 |
| 4.3 性能分析 | 第48-53页 |
| 4.4 仿真实验 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 性能评价器的研究与设计 | 第56-72页 |
| 5.1 控制器性能评价流程 | 第56-57页 |
| 5.2 性能评价基准的选择与确定 | 第57-61页 |
| 5.2.1 最小方差基准 | 第57-59页 |
| 5.2.2 方差基准 | 第59-60页 |
| 5.2.3 均方误差基准 | 第60-61页 |
| 5.3 EWMA控制器基于均方误差的性能评价算法 | 第61-64页 |
| 5.4 模型参数辨识和估计方法 | 第64-67页 |
| 5.5 仿真实验 | 第67-71页 |
| 5.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 附录A：基于机台的EWMA控制系统的输出表达式推导过程 | 第81-90页 |
| 附录B：基于产品的EWMA控制系统的输出表达式推导过程 | 第90-93页 |
| 附录C：新型EWMA控制系统的输出表达式推导过程 | 第93-95页 |