步进扫描投影光刻机同步运动控制策略及方法研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·光刻技术发展 | 第12-14页 |
| ·浸没式双曝光或多重曝光光刻 | 第12-13页 |
| ·极紫外光刻 | 第13页 |
| ·纳米压印光刻 | 第13-14页 |
| ·电子束无掩模光刻 | 第14页 |
| ·表面等离子体光刻 | 第14页 |
| ·步进扫描投影光刻机同步运动控制概述 | 第14-22页 |
| ·步进扫描投影光刻机中的同步系统 | 第15-18页 |
| ·同步性能对步进扫描投影光刻机光刻质量的影响 | 第18-19页 |
| ·步进扫描投影光刻机同步运动控制 | 第19-22页 |
| ·本文的内容安排 | 第22-24页 |
| 2 步进扫描投影光刻机同步误差 | 第24-40页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·步进扫描投影光刻机同步性能指标特性分析 | 第24-31页 |
| ·同步性能指标 MA 特性分析 | 第25页 |
| ·同步性能指标 MSD 特性分析 | 第25-31页 |
| ·掩模台与硅片台同步误差重复特性分析 | 第31-32页 |
| ·步进扫描投影光刻机同步误差的主要影响因素 | 第32-38页 |
| ·系统动力学对同步误差的影响 | 第32-35页 |
| ·粗精叠层结构对同步误差的影响 | 第35-37页 |
| ·同步算法对同步误差的影响 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 3 步进及扫描运动轨迹规划 | 第40-63页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·步进扫描投影光刻机中的步进及扫描运动 | 第40-46页 |
| ·步进运动及扫描运动综述 | 第40-41页 |
| ·步进扫描投影光刻机中的扫描运动 | 第41-42页 |
| ·步进扫描投影光刻机中步进时间的确定 | 第42-46页 |
| ·步进运动轨迹规划算法 | 第46-52页 |
| ·扫描运动轨迹规划算法 | 第52-55页 |
| ·步进扫描投影光刻机轨迹重叠规划算法 | 第55-62页 |
| ·轨迹重叠规划约束基准 | 第55-57页 |
| ·硅片台轨迹重叠算法 | 第57-61页 |
| ·掩模台轨迹重叠算法 | 第61页 |
| ·掩模台与硅片台同步时间匹配 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 4 粗精叠层运动平台动力学建模与运动控制 | 第63-81页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·掩模台及硅片台粗精叠层结构分析 | 第63-64页 |
| ·粗精叠层运动平台动力学建模与分析 | 第64-75页 |
| ·粗精叠层运动平台动力学模型 | 第64-65页 |
| ·粗精叠层运动平台动力学模型解析及简化 | 第65-67页 |
| ·粗精叠层运动平台动力学分析 | 第67-75页 |
| ·粗精叠层运动平台控制 | 第75-79页 |
| ·粗动台与精动台运动控制研究 | 第75-77页 |
| ·粗精叠层控制 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 5 步进扫描投影光刻机同步运动控制研究 | 第81-97页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·掩模台与硅片台同步运动控制问题提出 | 第81页 |
| ·掩模台与硅片台同步运动控制系统结构 | 第81-86页 |
| ·双台同步控制结构分类 | 第82-84页 |
| ·掩模台及硅片台同步运动控制结构 | 第84-86页 |
| ·掩模台及硅片台同步运动控制算法 | 第86-91页 |
| ·迭代学习控制原理 | 第86-88页 |
| ·基于前馈—反馈迭代学习的同步运动控制算法 | 第88-91页 |
| ·基于迭代学习方法的掩模台及硅片台同步运动控制 | 第91-96页 |
| ·掩模台及硅片台同步运动控制迭代学习律收敛性 | 第92-95页 |
| ·掩模台及硅片台同步运动控制仿真分析 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 同步运动控制实验研究 | 第97-110页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·控制系统的总体设计方案 | 第97页 |
| ·同步运动控制系统各主要功能模块设计及选型 | 第97-105页 |
| ·实验系统机械平台设计 | 第98-99页 |
| ·执行机构选型 | 第99页 |
| ·位置检测器件选型 | 第99页 |
| ·基于 LABVIEW 的人机交互设计与实现 | 第99-101页 |
| ·主控板卡设计 | 第101-105页 |
| ·同步控制系统实验及结果分析 | 第105-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 7 全文工作总结及展望 | 第110-113页 |
| ·论文主要研究工作 | 第110页 |
| ·论文主要创新点 | 第110-111页 |
| ·下一步工作及展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-120页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第120-121页 |
