| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·研究背景 | 第10-17页 |
| ·金属互连可靠性传统表征技术与参量 | 第12-13页 |
| ·金属互连可靠性与低频噪声 | 第13-16页 |
| ·噪声频谱表征的局限性 | 第16-17页 |
| ·本论文的研究目的与研究内容 | 第17-18页 |
| ·论文章节安排 | 第18-20页 |
| 第二章 金属互连电迁移噪声测试技术研究 | 第20-40页 |
| ·金属互连电迁移传统测试技术 | 第20-22页 |
| ·加速寿命测试 | 第20页 |
| ·原位观测技术 | 第20-21页 |
| ·Belch 堆积测试技术 | 第21页 |
| ·局部应力测试技术 | 第21页 |
| ·阻抗测试技术 | 第21-22页 |
| ·金属互连电迁移噪声测试技术 | 第22-29页 |
| ·直流偏置测试技术 | 第25-26页 |
| ·交流偏置测试技术 | 第26-28页 |
| ·交流加直流偏置测试技术 | 第28-29页 |
| ·基于两级放大的电迁移噪声测试系统 | 第29-35页 |
| ·系统组成 | 第30-31页 |
| ·系统原理 | 第31-32页 |
| ·测试结果对比 | 第32-35页 |
| ·加速电迁移噪声测试实验设计 | 第35-38页 |
| ·样品结构 | 第35-37页 |
| ·实验条件 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 第三章 基于自由体积的电迁移晶界噪声表征模型 | 第40-60页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·电迁移现有模型的局限性 | 第41-45页 |
| ·已有电迁移电阻模型的局限性 | 第41-43页 |
| ·已有电迁移噪声模型的局限性 | 第43-45页 |
| ·自由体积理论[124] | 第45-46页 |
| ·晶界与自由体积 | 第46-48页 |
| ·基于自由体积的电阻模型 | 第48-53页 |
| ·晶界自由体积电阻模型 | 第48-51页 |
| ·模型的验证 | 第51-53页 |
| ·基于自由体积的晶界噪声模型 | 第53-57页 |
| ·晶界自由体积噪声模型 | 第53-55页 |
| ·模型的验证 | 第55-57页 |
| ·晶界自由体积噪声模型对电迁移的表征 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第四章 金属互连电迁移噪声的频谱表征研究 | 第60-72页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·电迁移过程的噪声频谱表征 | 第61-65页 |
| ·电迁移过程的功率谱幅值表征 | 第61-63页 |
| ·电迁移过程的频率指数表征 | 第63-65页 |
| ·电迁移应力与噪声的相关性 | 第65-70页 |
| ·不同老化温度的电迁移噪声对比 | 第65-68页 |
| ·不同电流应力的电迁移噪声对比 | 第68-70页 |
| ·小结 | 第70-72页 |
| 第五章 金属互连电迁移噪声分形特性的维数表征 | 第72-94页 |
| ·引言 | 第72-73页 |
| ·常用的分形维数 | 第73-77页 |
| ·1/f 噪声的分形特性 | 第77-78页 |
| ·电迁移噪声的盒子维数表征 | 第78-84页 |
| ·噪声分维与晶粒间界分维的关系 | 第79-80页 |
| ·噪声时间序列盒子维数变化规律 | 第80-84页 |
| ·电迁移噪声的相关维数表征 | 第84-92页 |
| ·噪声时间序列相关维数变化规律 | 第85-90页 |
| ·空洞成核阶段噪声信号的混沌特性 | 第90-92页 |
| ·小结 | 第92-94页 |
| 第六章 金属互连电迁移噪声复杂度特性的多尺度熵表征 | 第94-106页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·熵与噪声 | 第94-95页 |
| ·多尺度熵理论 | 第95-97页 |
| ·电迁移噪声的多尺度熵表征 | 第97-103页 |
| ·电迁移过程的多尺度熵表征结果 | 第97-99页 |
| ·多尺度熵与噪声频率指数 | 第99-102页 |
| ·多尺度熵与电阻变化 | 第102-103页 |
| ·电迁移噪声信号复杂度与系统混乱度分析 | 第103-104页 |
| ·小结 | 第104-106页 |
| 第七章 结论 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-121页 |
| 研究成果 | 第121-123页 |