极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术
| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| ·EUVL技术研究进展 | 第9-11页 |
| ·EUVL工件台相关技术研究 | 第11-15页 |
| ·步进扫描型工件台结构 | 第12-13页 |
| ·步进扫描曝光原理 | 第13-14页 |
| ·步进扫描型工件台的技术指标 | 第14-15页 |
| ·EUVL工件台技术研究现状 | 第15-19页 |
| ·EUVL工件台研究存在问题及挑战 | 第19-21页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 EUVL工件台结构设计及仿真 | 第23-48页 |
| ·EUVL工件台设计要求 | 第23-25页 |
| ·气浮与磁悬浮工件台比较 | 第25-27页 |
| ·EUVL工件台机构设计 | 第27-35页 |
| ·设计要点及结构方案 | 第27-28页 |
| ·结构方案 | 第28页 |
| ·磁悬浮工件台设计 | 第28-30页 |
| ·气磁结合型工件台设计 | 第30-32页 |
| ·工件台检测系统 | 第32页 |
| ·工件台结构设计要点 | 第32-34页 |
| ·误差分析 | 第34-35页 |
| ·工件台结构仿真分析 | 第35-47页 |
| ·有限元模型的建立 | 第36-37页 |
| ·工件台结构仿真分析 | 第37-45页 |
| ·仿真结果分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 EUVL工件台控制系统设计 | 第48-65页 |
| ·EUVL工件台控制系统功能及要求 | 第48页 |
| ·EUVL工件台控制系统设计 | 第48-54页 |
| ·控制系统的总体结构 | 第48-49页 |
| ·工件台粗/微二级控制系统设计 | 第49-53页 |
| ·硅片台掩模台同步协调控制 | 第53-54页 |
| ·EUVL工件台同步控制系统仿真 | 第54-60页 |
| ·仿真模型的建立 | 第55-56页 |
| ·仿真结果及分析 | 第56-60页 |
| ·环境影响因素分析 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 物镜装调系统设计 | 第65-76页 |
| ·物镜装调系统结构及功能要求 | 第66-67页 |
| ·物镜装调机构及其控制系统设计 | 第67-69页 |
| ·物镜系统整体固定装置设计 | 第69-70页 |
| ·物镜及装调机构结构仿真分析 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 博士后期间发表的学术论文、专著、重要科研成果 | 第87-89页 |
| 出站报告说明 | 第89页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第89页 |
