脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究

第一章 引言	第1-14页
·显示技术	第7-8页
·显示技术的发展前景	第8-9页
·射平板显示荧光薄膜的研究及其应用进展	第9-12页
·选题意义	第12-14页
第二章 理论基础	第14-30页
·ZnO的性质及应用	第14-18页
·ZnO的基本性质	第14-15页
·ZnO中的缺陷	第15-16页
·ZnO的应用	第16-18页
·ZnO薄膜的制备	第18-22页
·ZnO发光机理的研究	第22-29页
·光电显示材料的分类	第22-23页
·发光模式光电显示材料	第22-23页
·非发光模式光电显示材料	第23页
·材料发光的基本原理	第23-26页
·阴极射线激发材料发光的过程	第26-28页
·ZnO薄膜发光机理的研究状况	第28-29页
·ZnO薄膜的应用前景	第29-30页
第三章 实验方法	第30-45页
·脉冲激光沉积(PLD)法	第30-38页
·脉冲激光沉积的物理过程	第30-37页
·脉冲激光镀膜的优缺点	第37-38页
·实验仪器及操作	第38-40页
·射频辅助脉冲激光沉积镀膜	第40-42页
·测试手段	第42-45页
·结构分析	第42页
·形貌分析	第42-44页
·发光特性测试	第44-45页
第四章 实验结果与分析	第45-64页
·衬底温度对ZnO薄膜的影响	第46-53页
·衬底温度对ZnO薄膜结构特性的影响	第46-49页
·衬底温度对ZnO薄膜表面结构的影响	第49-51页
·衬底温度对ZnO薄膜场致发光的影响	第51页
·衬底温度对ZnO薄膜光致发光的影响	第51-53页
·退火处理对ZnO薄膜的影响	第53-57页
·退火处理对ZnO薄膜结构特性的影响	第53-54页
·退火处理对ZnO薄膜表面结构的影响	第54-56页
·退火处理对ZnO薄膜场致发光的影响	第56页
·退火处理对ZnO薄膜光致发光的影响	第56-57页
·反应气氛对ZnO薄膜的影响	第57-60页
·反应气氛对ZnO薄膜结构特性的影响	第57-59页
·反应气氛对ZnO薄膜场致发光的影响	第59-60页
·反应气氛对ZnO薄膜光致发光的影响	第60页
·射频辅助对ZnO薄膜的影响	第60-64页
第五章 结论	第64-66页
参考文献	第66-72页
致谢	第72页