晶圆传输机器人平稳精确轨迹控制技术
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第9-17页 |
| ·晶圆传输机器人综述 | 第9-11页 |
| ·同步控制技术研究现状 | 第11-14页 |
| ·振动控制技术研究现状 | 第14-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 晶圆传输机器人运动学和动力学分析 | 第18-26页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·晶圆传输机器人结构 | 第18-19页 |
| ·晶圆传输机器人运动学分析 | 第19-21页 |
| ·晶圆传输机器人柔性关节动力学分析 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 晶圆传输机器人交叉耦合同步控制 | 第26-37页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·基于轮廓误差的同步控制方法 | 第26-34页 |
| ·晶圆传输机器人轮廓误差模型 | 第26-29页 |
| ·交叉耦合控制器设计 | 第29-33页 |
| ·稳定性分析 | 第33-34页 |
| ·同步控制方法仿真 | 第34-36页 |
| ·轨迹规划 | 第34-35页 |
| ·基于轮廓误差的同步控制方法仿真 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 晶圆传输机器人输入整形振动控制 | 第37-50页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·输入整形控制原理 | 第37-39页 |
| ·输入整形器设计分析 | 第39-44页 |
| ·两脉冲整形器设计分析 | 第39-41页 |
| ·三脉冲整形器设计分析 | 第41-44页 |
| ·输入整形振动控制仿真 | 第44-48页 |
| ·肘关节输入整形仿真 | 第44-45页 |
| ·肩关节输入整形仿真 | 第45-46页 |
| ·直线运动输入整形仿真 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 晶圆传输机器人控制实验研究 | 第50-59页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验系统建立 | 第50-52页 |
| ·交叉耦合同步控制实验 | 第52-53页 |
| ·输入整形振动控制实验 | 第53-57页 |
| ·单轴运动振动控制实验 | 第53-55页 |
| ·直线伸缩振动控制实验 | 第55-57页 |
| ·整合实验 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
