兰姆波型声表面波无源无线温度传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3 论文的研究内容及框架结构 | 第13-14页 |
| 第二章 声表面波器件原理 | 第14-23页 |
| 2.1 瑞丽波与兰姆波 | 第14-15页 |
| 2.1.1 瑞丽波 | 第14页 |
| 2.1.2 兰姆(Lamb)波 | 第14-15页 |
| 2.2 叉指换能器 | 第15-17页 |
| 2.2.1 叉指换能器的基本结构及种类 | 第15-16页 |
| 2.2.2 叉指换能器的结构参数 | 第16-17页 |
| 2.3 压电材料 | 第17-19页 |
| 2.3.1 压电材料的种类 | 第17-18页 |
| 2.3.2 氮化铝(AlN)薄膜 | 第18-19页 |
| 2.4 声表面波器件 | 第19-20页 |
| 2.4.1 延迟线型声表面波器件 | 第19页 |
| 2.4.2 反射栅谐振型声表面波器件 | 第19-20页 |
| 2.5 声表面波器件的分析方法 | 第20-22页 |
| 2.5.1δ模型 | 第20-21页 |
| 2.5.2 耦合模(COM)模型 | 第21-22页 |
| 2.5.3 有限元软件介绍 | 第22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 声表面波器件设计与仿真 | 第23-35页 |
| 3.1 声表面波器件基本结构 | 第23-24页 |
| 3.2 声表面波器件模型 | 第24-26页 |
| 3.3 声表面波器件分析 | 第26-27页 |
| 3.3.1 特征频率分析 | 第26-27页 |
| 3.3.2 频率响应分析 | 第27页 |
| 3.4 声表面波器件设计 | 第27-34页 |
| 3.4.1 瑞丽波型声表面波谐振器的设计与仿真 | 第27-30页 |
| 3.4.2 兰姆波型声表面波谐振器的设计与仿真 | 第30-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 声表面波器件的制作工艺 | 第35-51页 |
| 4.1 器件制作工艺流程 | 第35-36页 |
| 4.2 光刻板的设计 | 第36-37页 |
| 4.3 腐蚀工艺 | 第37-43页 |
| 4.3.1 二氧化硅的腐蚀 | 第37-39页 |
| 4.3.2 硅的化学减薄 | 第39-43页 |
| 4.4 光刻 | 第43-49页 |
| 4.4.1 叉指换能器的制作 | 第45-49页 |
| 4.4.2 背面窗.的制作 | 第49页 |
| 4.5 生长电极 | 第49-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 声表面波器件测试 | 第51-62页 |
| 5.1 测试方法 | 第51-52页 |
| 5.2 测试结果与分析 | 第52-61页 |
| 5.2.1 瑞丽波型器件温度特性测试 | 第52-54页 |
| 5.2.2 兰姆波型器件温度特性测试 | 第54-59页 |
| 5.2.3 兰姆波型无线温度传感器测试 | 第59-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻硕期间的研究成果 | 第68-69页 |
