水下多功能深度传感器的研制与实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 多功能传感器研究现状 | 第10页 |
| 1.2.2 压力传感器的发展动向 | 第10-11页 |
| 1.2.3 压力传感器的发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.3 课题背景及研制的目的和意义 | 第12页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 多功能传感器工作原理及方案设计 | 第14-21页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 压力传感器工作原理 | 第14-18页 |
| 2.2.1 压阻效应原理 | 第14-17页 |
| 2.2.2 压力信号转换 | 第17-18页 |
| 2.3 膜片式开关工作原理 | 第18-19页 |
| 2.4 传感器总体设计 | 第19-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 多功能传感器详细设计 | 第21-39页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 硅杯设计 | 第21-25页 |
| 3.2.1 SOI基片选择 | 第21-22页 |
| 3.2.2 敏感芯片应力分析 | 第22-23页 |
| 3.2.3 应力膜厚度的选取 | 第23-24页 |
| 3.2.4 硅杯尺寸的计算 | 第24-25页 |
| 3.3 压敏电阻设计 | 第25-28页 |
| 3.3.1 压敏电阻值的设计 | 第25-26页 |
| 3.3.2 压敏电阻形状的设计 | 第26-27页 |
| 3.3.3 电桥连接方式的设计 | 第27-28页 |
| 3.4 敏感元件结构参数优化设计 | 第28-30页 |
| 3.5 方形应力膜版图 | 第30页 |
| 3.6 芯体波纹膜片的设计 | 第30-31页 |
| 3.7 膜片式开关设计 | 第31-36页 |
| 3.7.1 波纹膜片的基本特性 | 第31-32页 |
| 3.7.2 等效膜片法的理论研究 | 第32-34页 |
| 3.7.3 波纹膜片的材料 | 第34-35页 |
| 3.7.4 波纹膜片参数的确定 | 第35-36页 |
| 3.7.5 波纹膜片的过载保护设计 | 第36页 |
| 3.7.6 开关材料的选择 | 第36页 |
| 3.8 结构可靠性校验 | 第36-38页 |
| 3.9 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 多功能传感器的电路设计 | 第39-50页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 温度补偿电路设计 | 第39-40页 |
| 4.3 温度补偿分析 | 第40-46页 |
| 4.3.1 桥路电压温度补偿技术 | 第41-43页 |
| 4.3.2 桥路电阻匹配温度补偿技术 | 第43-46页 |
| 4.4 调理电路设计 | 第46-48页 |
| 4.4.1 元器件性能参数 | 第46-47页 |
| 4.4.2 恒流源电路设计 | 第47页 |
| 4.4.3 传感器调理电路设计 | 第47-48页 |
| 4.5 电路可靠性设计 | 第48-49页 |
| 4.5.1 传感器可靠性预计 | 第48-49页 |
| 4.5.2 元器件降额设计 | 第49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 多功能传感器工艺研究 | 第50-56页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 工艺流程 | 第50-51页 |
| 5.3 静电键合控制 | 第51页 |
| 5.4 各向异性腐蚀工艺控制 | 第51-53页 |
| 5.5 注油工艺控制 | 第53-54页 |
| 5.6 波纹膜片制作工艺 | 第54-55页 |
| 5.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第6章 多功能传感器测试及试验研究 | 第56-62页 |
| 6.1 引言 | 第56页 |
| 6.2 压力传感器特性指标 | 第56-57页 |
| 6.3 传感器的测试方案 | 第57-58页 |
| 6.4 测试结果 | 第58-60页 |
| 6.5 测试结果分析 | 第60-61页 |
| 6.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 个人简历 | 第68页 |
