| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光刻机及工件台的国内外现状综述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外现状综述 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内现状综述 | 第12-13页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 光刻机双工件台系统的整体概述 | 第15-22页 |
| 2.1 双工件台系统的整体设计思路 | 第15-16页 |
| 2.2 双工件台系统的工作流程 | 第16-18页 |
| 2.3 工件台系统控制部分简介 | 第18-19页 |
| 2.4 上位机软件系统整体概述 | 第19-21页 |
| 2.4.1 任务分析 | 第19-20页 |
| 2.4.2 上位机系统模块化设计 | 第20-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 上位机软件系统各模块的实现 | 第22-52页 |
| 3.1 系统开发语言及工具 | 第22页 |
| 3.2 网络通信模块的实现 | 第22-28页 |
| 3.2.1 网络协议的制定 | 第24-25页 |
| 3.2.2 通信信息的封装与解析 | 第25-28页 |
| 3.3 数据库模块的实现 | 第28-32页 |
| 3.3.1 数据库表类的实现 | 第28-30页 |
| 3.3.2 数据库各项操作的实现 | 第30-32页 |
| 3.4 串口通信模块的实现 | 第32-40页 |
| 3.4.1 串口类的设计与实现 | 第32-37页 |
| 3.4.2 串口协议的制定与消息解析的实现 | 第37-40页 |
| 3.5 仿真模块的实现 | 第40-42页 |
| 3.5.1 动态链接库实现进程间通信的思想 | 第40-41页 |
| 3.5.2 进程间通信的具体实现 | 第41-42页 |
| 3.6 报表模块的实现 | 第42-46页 |
| 3.6.1 C++ Builder 实现 Excel 操作的基本原理 | 第43页 |
| 3.6.2 Excel 报表模块的具体实现 | 第43-46页 |
| 3.7 软件加密模块的实现 | 第46-51页 |
| 3.7.1 软件加密方法 | 第46页 |
| 3.7.2 DES 加密解密算法 | 第46-47页 |
| 3.7.3 软件加密模块的具体实现 | 第47-51页 |
| 3.8 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 上位机软件系统的整体实现 | 第52-75页 |
| 4.1 系统功能的设计 | 第52-53页 |
| 4.2 系统操作流程 | 第53-54页 |
| 4.3 安全登录功能的实现 | 第54-58页 |
| 4.3.1 软件加密功能的实现 | 第54-56页 |
| 4.3.2 管理用户的功能 | 第56-58页 |
| 4.4 参数设置功能的实现 | 第58-61页 |
| 4.4.1 参数配置文件的基本思想 | 第58-60页 |
| 4.4.2 参数设置流程 | 第60-61页 |
| 4.5 实时监控功能的实现 | 第61-69页 |
| 4.5.1 实时监控的操作流程 | 第61-62页 |
| 4.5.2 通信协议的具体设计 | 第62-66页 |
| 4.5.3 多线程间的通信 | 第66-69页 |
| 4.6 数据处理功能的实现 | 第69-74页 |
| 4.6.1 数据保存功能的实现 | 第69-71页 |
| 4.6.2 数据查询及生成报表功能的实现 | 第71-74页 |
| 4.7 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 系统功能测试 | 第75-85页 |
| 5.1 系统启动前的参数设置工作 | 第75-76页 |
| 5.2 系统加密功能的测试 | 第76-78页 |
| 5.3 系统登录的测试 | 第78页 |
| 5.4 联机测试 | 第78-84页 |
| 5.4.1 网络通信测试 | 第79-81页 |
| 5.4.2 串行通信测试 | 第81页 |
| 5.4.3 三维仿真测试 | 第81-84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92页 |