| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 传感器的定义、分类及基本特性参数定义 | 第11-13页 |
| 1.2.1 电阻型气敏传感器基本特性参数的定义 | 第12-13页 |
| 1.2.2 法布里珀罗折射率传感器基本特性参数定义 | 第13页 |
| 1.3 气敏传感器研究 | 第13-18页 |
| 1.3.1 电阻型气敏传感器的基本工作原理 | 第13-16页 |
| 1.3.2 气敏传感器的发展状况 | 第16-18页 |
| 1.4 折射率传感器的研究 | 第18-20页 |
| 1.4.1 法布里珀罗折射率传感器基本工作原理 | 第18-19页 |
| 1.4.2 折射率传感器的发展状况 | 第19-20页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容和研究意义 | 第20-21页 |
| 第二章 基于半导体金属氧化物的气敏传感器 | 第21-33页 |
| 2.1 前言 | 第21-22页 |
| 2.2 实验部分 | 第22-26页 |
| 2.2.1 CuO/WO_3异质结构的原料、合成 | 第22-23页 |
| 2.2.2 CuO/WO_3异质结构形貌和结构的表征及分析 | 第23-26页 |
| 2.2.3 硫化氢气敏传感器的制备与测试 | 第26页 |
| 2.3 结果分析与仪器改进 | 第26-32页 |
| 2.3.1 硫化氢气敏传感器的测试结果与分析 | 第26-29页 |
| 2.3.2 硫化氢气敏传感器的改进 | 第29-32页 |
| 2.3.3 硫化氢气敏传感器的湿度测试 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于金属微结构的折射率传感器 | 第33-57页 |
| 3.1 前言 | 第33页 |
| 3.2 法布里-珀罗折射率传感器 | 第33-48页 |
| 3.2.1 实验部分 | 第33-34页 |
| 3.2.2 Al/Al_2O_3/Al结构的光学性质表征及分析 | 第34-39页 |
| 3.2.3 TMM模拟计算 | 第39-45页 |
| 3.2.4 法布里-珀罗折射率传感器测试结果与分析 | 第45-47页 |
| 3.2.5 小结 | 第47-48页 |
| 3.3 其他潜在的折射率传感器结构摸索 | 第48-57页 |
| 3.3.1 Al/Al_2O_3/Al三层均匀结构的改进 | 第48-50页 |
| 3.3.2 基于局域表面等离激元的潜在折射率传感器结构 | 第50页 |
| 3.3.3 基于局域表面等离子共振传感器的原理 | 第50-53页 |
| 3.3.4 双层金球壳结构 | 第53-56页 |
| 3.3.5 小结 | 第56-57页 |
| 第四章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 4.1 总结 | 第57-58页 |
| 4.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 附录A | 第64-67页 |
| 作者简介及攻读学位期间主要成果 | 第67页 |
