多晶硅双体铸锭炉加热电源的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-17页 |
| ·选题的背景与意义 | 第10-15页 |
| ·生产多晶硅的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外多晶硅生产技术的现状 | 第11-14页 |
| ·多晶硅铸锭炉系统研究现状及发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第15-16页 |
| ·本章总结 | 第16-17页 |
| 2 多晶硅双体铸锭炉加热电源系统方案的确定 | 第17-26页 |
| ·多晶硅双体铸锭炉加热电源方案设计 | 第17-20页 |
| ·多晶硅双体铸锭炉加热电源系统的整体结构 | 第20-21页 |
| ·多晶硅双体铸锭炉加热电源的工作原理 | 第21-25页 |
| ·单相交流调功电路的工作原理 | 第21-24页 |
| ·三相交流调功电路的工作原理 | 第24-25页 |
| ·本章总结 | 第25-26页 |
| 3 多晶硅双体铸锭炉加热电源的电路设计与分析 | 第26-40页 |
| ·主电路方案 | 第26-32页 |
| ·技术指标 | 第26页 |
| ·主电路结构 | 第26-27页 |
| ·交流调功电路的谐波分析 | 第27-28页 |
| ·调功电路变压器的伏秒积分分析 | 第28-31页 |
| ·初相角对系统稳定性的影响 | 第31-32页 |
| ·关键器件选型 | 第32-37页 |
| ·晶闸管的选型 | 第32-33页 |
| ·工频变压器的设计 | 第33-36页 |
| ·其它器件的选择 | 第36-37页 |
| ·多晶硅双体铸锭炉加热电源的实物照片 | 第37-38页 |
| ·本章总结 | 第38-40页 |
| 4 加热电源控制系统的设计 | 第40-59页 |
| ·系统控制策略研究 | 第40-44页 |
| ·系统控制方法 | 第40-41页 |
| ·软件程序流程 | 第41-44页 |
| ·控制电路的硬件设计 | 第44-54页 |
| ·模拟信号处理部分 | 第45-51页 |
| ·数字信号处理部分 | 第51-52页 |
| ·PWM控制部分 | 第52页 |
| ·通信 | 第52-54页 |
| ·本地人机交互平台 | 第54-58页 |
| ·本章总结 | 第58-59页 |
| 5 加热电源系统的的仿真及实验结果分析 | 第59-67页 |
| ·仿真分析 | 第59-61页 |
| ·实验结果及分析 | 第61-64页 |
| ·系统的优势 | 第64-66页 |
| ·本章总结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 作者简历 | 第70-72页 |
| 学位论文数据集 | 第72页 |
