| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 声表面波气体传感器概述 | 第9-13页 |
| 1.2 声表面波气体传感器发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 胶体纳米晶气体传感器的发展现状 | 第15-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 SnO_2胶体纳米线的合成与微观特性研究 | 第19-26页 |
| 2.1 溶剂热法合成SnO_2胶体纳米线 | 第19-21页 |
| 2.2 SnO_2胶体纳米线的微观特性 | 第21-23页 |
| 2.3 SnO_2胶体纳米线生长机理研究 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 SAW延迟线结构设计与制备 | 第26-38页 |
| 3.1 基于COMSOL软件的SAW延迟线结构仿真设计 | 第26-32页 |
| 3.2 声表面波器件的制备 | 第32-35页 |
| 3.3 SAW器件测试系统 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 基于SnO_2胶体纳米线薄膜的SAW气体传感器 | 第38-47页 |
| 4.1 室温制备SnO_2胶体纳米线薄膜及其微观形貌 | 第38-40页 |
| 4.2 SnO_2胶体纳米线SAW传感器性能 | 第40-42页 |
| 4.3 SnO_2胶体纳米线SAW传感器机理分析 | 第42-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 5 总结与展望 | 第47-49页 |
| 5.1 研究内容总结 | 第47-48页 |
| 5.2 研究内容展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文和申请专利目录 | 第56-57页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间所获得的奖励 | 第57页 |
