基于钴基巨磁阻抗效应的平面三轴磁传感器研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3 论文的研究内容和章节安排 | 第17-19页 |
| 2 平面三轴GMI磁敏元件设计与制备 | 第19-44页 |
| 2.1 单轴钴基GMI磁敏元件制备与测试 | 第19-22页 |
| 2.2 平面三轴GMI磁敏元件设计方案 | 第22-25页 |
| 2.3 三轴GMI磁敏元件建模与分析 | 第25-38页 |
| 2.4 三轴GMI磁敏元件制备与测试 | 第38-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 3 GMI磁传感器驱动电路设计 | 第44-64页 |
| 3.1 驱动电路系统设计 | 第44-45页 |
| 3.2 信号激励电路设计 | 第45-48页 |
| 3.3 V-I转换电路设计 | 第48-53页 |
| 3.4 前置放大电路设计 | 第53-55页 |
| 3.5 相敏检波电路设计 | 第55-58页 |
| 3.6 低通滤波电路设计 | 第58-61页 |
| 3.7 差分放大电路设计 | 第61-63页 |
| 3.8 本章小结 | 第63-64页 |
| 4 GMI磁传感器性能测试与分析 | 第64-76页 |
| 4.1 测试方案 | 第64-65页 |
| 4.2 测试系统实现 | 第65-67页 |
| 4.3 结果分析 | 第67-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 5 总结与展望 | 第76-78页 |
| 5.1 总结 | 第76-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 附录1 攻读学位期间研究成果 | 第85页 |
