超高频集成磁膜螺线管电感的设计与制备
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 研究现状和进展 | 第11-19页 |
| 1.2.1 超高频电感的主要性能参数和典型结构 | 第11-13页 |
| 1.2.2 超高频集成磁膜电感研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.3 纳米颗粒磁芯膜研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 论文各部分的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 FeCoTiO磁芯膜的制备及性能调控 | 第20-28页 |
| 2.1 薄膜制备和表征方法 | 第20-22页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第20-21页 |
| 2.1.2 样品制备 | 第21-22页 |
| 2.1.3 高频性能表征手段 | 第22页 |
| 2.2 单层膜高频性能测试结果 | 第22-25页 |
| 2.3 图形化磁膜高频性能测试结果 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 磁膜电感的设计与仿真 | 第28-36页 |
| 3.1 Ansoft HFSS电磁仿真软件 | 第28-31页 |
| 3.1.1 软磁材料在HFSS中的仿真 | 第28-29页 |
| 3.1.2 电感仿真流程 | 第29-31页 |
| 3.2 磁膜电感结构设计 | 第31-32页 |
| 3.2.1 螺线管型电感设计 | 第31-32页 |
| 3.2.2 螺线管型耦合电感设计 | 第32页 |
| 3.3 仿真结果 | 第32-35页 |
| 3.3.1 磁芯厚度对电感性能的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.2 匝数对电感性能的影响 | 第33页 |
| 3.3.3 线圈间距对电感性能的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.4 线圈厚度对电感性能的影响 | 第34页 |
| 3.3.5 耦合电感仿真结果 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 磁膜螺线管电感的制备工艺 | 第36-47页 |
| 4.1 关键工艺探讨 | 第36-42页 |
| 4.1.1 深硅刻蚀工艺 | 第36-37页 |
| 4.1.2 铜电镀工艺 | 第37-40页 |
| 4.1.3 聚酰亚胺的制备与刻蚀工艺 | 第40-42页 |
| 4.2 版图绘制和整体工艺流程 | 第42-44页 |
| 4.2.1 版图绘制 | 第42页 |
| 4.2.2 整体工艺流程 | 第42-44页 |
| 4.3 流水结果 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 超高频微电感性能测试与分析 | 第47-58页 |
| 5.1 超高频微电感性能测试原理 | 第47-50页 |
| 5.1.1 电感S参数测试方法 | 第47-48页 |
| 5.1.2 原位去嵌入 | 第48页 |
| 5.1.3 电感性能参数提取原理 | 第48-49页 |
| 5.1.4 耦合电感性能参数提取原理 | 第49-50页 |
| 5.2 电感的性能测试结果及分析 | 第50-57页 |
| 5.2.1 电感测试结果 | 第50-55页 |
| 5.2.2 耦合电感测试结果 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-63页 |
| 6.1 主要结论及创新点 | 第58-59页 |
| 6.2 有待深入研究的问题 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 附录 二端口网络参量转换公式 | 第70-71页 |
