| 表目录 | 第1-8页 |
| 图目录 | 第8-10页 |
| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·选题背景和研究意义 | 第13页 |
| ·光栅干涉位移测量技术的研究现状及发展趋势 | 第13-19页 |
| ·光栅干涉位移测量技术简介 | 第13-17页 |
| ·光栅干涉位移测量的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·光栅干涉位移测量的发展趋势 | 第19页 |
| ·本文的主要研究工作与内容安排 | 第19-22页 |
| ·主要研究工作 | 第19-20页 |
| ·本文内容安排 | 第20-22页 |
| 第二章 单光栅干涉位移测量方法研究 | 第22-35页 |
| ·光栅干涉位移测量原理 | 第22-25页 |
| ·光学原理 | 第22-24页 |
| ·光学细分方法 | 第24-25页 |
| ·干涉信号的探测与处理 | 第25-31页 |
| ·干涉场的光强分布 | 第25-28页 |
| ·干涉信号的四象限探测方法 | 第28-30页 |
| ·干涉信号的差分处理方法 | 第30-31页 |
| ·基于反正切变换的相位高精度细分技术 | 第31-34页 |
| ·基于反正切变换的相位细分原理 | 第31页 |
| ·相位细分中的整数计数方法 | 第31-32页 |
| ·相位细分中的小数相位测量方法 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 单光栅干涉位移测量系统的实现 | 第35-46页 |
| ·单光栅干涉位移测量系统的总体设计 | 第35-36页 |
| ·光学系统设计 | 第36-41页 |
| ·光路布局及分析 | 第36-37页 |
| ·一维反射式衍射光栅参数设计 | 第37-39页 |
| ·光学器件的选择及分析 | 第39-41页 |
| ·机械系统设计 | 第41-43页 |
| ·小型化机械结构设计 | 第41-42页 |
| ·光学器件固定装置设计 | 第42-43页 |
| ·电路系统设计 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 单光栅干涉位移测量系统性能测试实验 | 第46-61页 |
| ·性能测试实验方法 | 第46-47页 |
| ·性能测试辅助设备 | 第47-48页 |
| ·不同测试条件下的测试结果 | 第48-58页 |
| ·不同间隔距离下的测试结果 | 第48-50页 |
| ·不同移动方向下的测试结果 | 第50-52页 |
| ·不同移动速度下的测试结果 | 第52-54页 |
| ·不同电容探头安装位置下的测试结果 | 第54-55页 |
| ·不同测量量程下的测试结果 | 第55-58页 |
| ·测试结果分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 基于光纤耦合器的单光栅干涉位移测量技术 | 第61-71页 |
| ·光纤及光纤耦合器简介 | 第61-62页 |
| ·基于光纤耦合器的单光栅干涉位移测量系统设计 | 第62-66页 |
| ·基于 1×2 光纤耦合器的单光栅干涉位移测量系统 | 第63页 |
| ·基于 2×2 光纤耦合器的单光栅干涉位移测量系统 | 第63-66页 |
| ·损耗对光纤耦合器输出相位差的影响 | 第66-67页 |
| ·基于光纤耦合器的单光栅干涉位移测量系统性能测试实验 | 第67-70页 |
| ·1 2光纤耦合器传输效率测试实验 | 第67-68页 |
| ·2 2光纤耦合器传输效率测试实验 | 第68-70页 |
| ·单光栅干涉位移测量系统输出相位差测试实验 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·本文工作总结 | 第71-72页 |
| ·未来研究展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第77页 |
