纳米金刚石薄膜的制备与掺硼研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章 绪论	第10-24页
·纳米金刚石薄膜的研究背景	第10-14页
·纳米金刚石薄膜的特性	第10-11页
·纳米金刚石薄膜的应用	第11-14页
·纳米金刚石薄膜的研究概况	第14-18页
·纳米金刚石薄膜的主要制备方法	第14-16页
·MPCVD 法沉积纳米金刚石薄膜的机理	第16-18页
·纳米金刚石薄膜的掺杂机理及其研究进展	第18-22页
·掺杂纳米金刚石薄膜的特性	第18页
·不同掺杂元素和掺杂类型的研究	第18-21页
·掺杂纳米金刚石薄膜的应用	第21-22页
·本论文的研究内容及意义	第22-24页
第2章 实验装置及表征方法	第24-34页
·纳米金刚石薄膜的制备装置	第24-28页
·纳米金刚石薄膜掺硼的装置	第28-30页
·样品的表征方法	第30-34页
·光学金相显微镜	第30-31页
·扫描电子显微镜	第31页
·原子力显微镜	第31-32页
·激光拉曼光谱	第32-33页
·四探针电阻测试仪	第33-34页
第3章 大面积高平整度纳米金刚石薄膜的制备研究	第34-48页
·引言	第34页
·实验	第34-35页
·纳米金刚石薄膜的生长研究	第35-45页
·基片温度对纳米金刚石薄膜生长的影响	第35-38页
·微波功率和反应气压对纳米金刚石薄膜生长的影响	第38-41页
·碳源浓度对纳米金刚石薄膜生长的影响	第41-43页
·添加氧气对纳米金刚石薄膜生长的影响	第43-45页
·工艺优化后纳米金刚石薄膜的制备	第45-47页
·本章小结	第47-48页
第4章 纳米金刚石薄膜的掺硼研究	第48-60页
·引言	第48-50页
·实验	第50-51页
·硼掺杂对纳米金刚石薄膜表面性能的影响	第51-56页
·掺杂温度对表面性能的影响	第51-54页
·反应气压对表面性能的影响	第54页
·乙硼烷浓度对表面性能的影响	第54-56页
·硼掺杂对纳米金刚石薄膜电学性能的影响	第56-59页
·掺杂温度对薄膜电性能的影响	第56-57页
·反应气压对薄膜电性能的影响	第57-58页
·乙硼烷浓度对薄膜电性能的影响	第58-59页
·本章小结	第59-60页
第5章 全文总结	第60-62页
参考文献	第62-68页
致谢	第68页