| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 第2章 射频LDMOS功率器件制备及在片测试 | 第15-23页 |
| ·射频LDMOS器件的结构特点与性能优势 | 第15-17页 |
| ·LDMOS器件的工艺设计及制备 | 第17-18页 |
| ·LDMOS器件电学特性在片测试 | 第18-22页 |
| ·阈值电压测试 | 第19-20页 |
| ·击穿电压测试 | 第20-21页 |
| ·输出特性测试 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 射频LDMOS功率器件内匹配技术研究 | 第23-35页 |
| ·射频功率器件内匹配技术简介 | 第23-24页 |
| ·内匹配技术中键合线等效参数的数学分析 | 第24-26页 |
| ·LDMOS器件内匹配技术中键合线的建模仿真与参数提取 | 第26-34页 |
| ·键合线仿真模型的建立 | 第26-27页 |
| ·直径对键合线射频损耗及等效参数的影响 | 第27-29页 |
| ·长度、拱高对键合线射频损耗及等效参数的影响 | 第29-31页 |
| ·并列线间距、线数目对键合线射频损耗及等效参数的影响 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 LDMOS器件负载牵引阻抗参数测试 | 第35-53页 |
| ·射频功率器件阻抗测试方法 | 第35-37页 |
| ·负载牵引测试系统的构成 | 第37-38页 |
| ·测试校准件、夹具的研制及验证 | 第38-45页 |
| ·校准件的种类及数学模型 | 第38-41页 |
| ·TRL校准件的设计 | 第41-42页 |
| ·测试夹具的设计 | 第42-43页 |
| ·TRL校准件及测试夹具的整体验证 | 第43-45页 |
| ·LDMOS器件阻抗参数测试 | 第45-51页 |
| ·负载牵引系统校准及去嵌入 | 第45-46页 |
| ·LDMOS器件负载牵引测试 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 LDMOS测试用功率放大器的制作与测试 | 第53-71页 |
| ·射频功率放大器的主要性能参数 | 第53-56页 |
| ·LDMOS测试用功率放大器的设计与制作 | 第56-65页 |
| ·直流工作点的确定 | 第56-57页 |
| ·直流偏置网络设计 | 第57-59页 |
| ·匹配网络设计 | 第59-62页 |
| ·功率放大器版图绘制及制作 | 第62-65页 |
| ·LDMOS测试用功率放大器的参数测试 | 第65-69页 |
| ·功率放大器的调试 | 第65-66页 |
| ·功率放大器输出功率、增益及功率附加效率测试 | 第66-68页 |
| ·功率放大器交调失真测试 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 总结和结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |