微型电光探测器的制作工艺研究

内容提要	第1-7页
第一章 综述	第7-14页
·课题背景	第7页
·集成电路检测技术介绍	第7-10页
·电光测量方法发展现状	第10-12页
·本论文的研究意义	第12-14页
第二章 电光测量基本理论	第14-25页
·非线性光学	第14-16页
·电极化率和电极化张量	第16-21页
·晶体的电光效应	第21-23页
·利用电光效应测量电场的原理	第23-25页
第三章 极化聚合物电光探测器理论基础	第25-42页
·有机电光材料简介	第25-32页
·电光聚合物的极化	第32-35页
·极化聚合物电光系数测量和校准	第35-42页
第四章 有机/无机杂化电光材料的制备	第42-58页
·溶胶-凝胶技术	第42-48页
·有机/无机杂化型材料的制备	第48-53页
·提高有机\无机复合材料电光系数的可行性	第53-56页
·杂化材料电光系数的测量	第56-57页
·本章小结	第57-58页
第五章 探头的制作工艺研究	第58-67页
·以重掺杂GaP为载体的电光探头的制作工艺	第58-61页
·电光微探测器的探测原理	第61-66页
·本章小结	第66-67页
参考文献	第67-74页
致谢	第74-75页
摘要	第75-77页
Abstract	第77-79页