首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--半导体技术论文--一般性问题论文--材料论文--化合物半导体论文

脉冲激光沉积氧化锌及其相关多层膜的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1 绪论第11-28页
   ·ZnO的性质第11-14页
     ·ZnO的结构第11-12页
     ·ZnO的缺陷第12-13页
     ·ZnO的光学性质第13-14页
     ·ZnO的电学性质第14页
     ·ZnO的其他性质第14页
   ·ZnO的应用第14-26页
     ·透明电极第14-15页
     ·压敏元件第15-17页
     ·气敏元件第17-18页
     ·发光器件第18-24页
     ·紫外探测器第24-25页
     ·太阳能电池第25页
     ·ZnO的问题和挑战第25-26页
   ·本论文的主要研究工作第26-28页
2 常用的生长方法和测试仪器第28-43页
   ·常用的生长方法第28-31页
     ·脉冲激光沉积法(PLD)第28页
     ·溶胶凝胶法第28页
     ·化学气相沉积法(CVD)第28-29页
     ·溅射法第29-30页
     ·分子束外延(MBE)第30页
     ·喷雾热分解法(Spray PyroIysis)第30页
     ·热蒸发法第30-31页
     ·水热法第31页
     ·自组装法第31页
   ·本论文使用的PLD薄膜生长实验系统简介第31-36页
     ·脉冲激光沉积(PLD)技术的特点及其生长过程第31-32页
     ·脉冲激光沉积系统第32-35页
     ·用PLD方法制备薄膜的工艺流程第35-36页
   ·常用测试仪器第36-43页
     ·X射线衍射(XRD)第36-37页
     ·光致发光谱(PL谱)第37-39页
     ·扫描电子显微镜(scanning electron microscope)第39页
     ·透射电子显微镜(TEM)第39-40页
     ·低能电子衍射和反射式高能电子衍射(LEED and RHEED)第40页
     ·X射线能量色散谱(EDX)第40-41页
     ·俄歇电子能谱(AES)第41页
     ·二次离子质谱(SIMS)第41页
     ·卢瑟福背散射技术(RBS)第41页
     ·X射线光电子能谱(XPS)第41-43页
3 ZnO/ZnMgO超晶格第43-67页
   ·引言第43-49页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO三元合金的特点第43-44页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO三元合金的应用第44-48页
     ·本章的研究重点第48-49页
   ·无缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格第49-57页
     ·样品制备第49-50页
     ·无缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格的光致发光研究第50-57页
   ·有缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格第57-66页
     ·样品制备第57-58页
     ·有缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格的形貌第58-59页
     ·有缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格的XRD谱第59-60页
     ·有缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格的光致发光谱的能量第60-62页
     ·有缓冲的ZnO/ZnMgO超晶格的光致发光的方向性第62-66页
   ·小结第66-67页
4 纳米ZnO与多孔MgO第67-81页
   ·引言第67-70页
   ·生长在MgO或ZnMgO缓冲层上的的ZnO纳米线第70-76页
     ·样品制备第70-71页
     ·ZnO纳米线的SEM图第71-73页
     ·ZnO纳米线的光致发光谱研究第73-74页
     ·ZnO纳米线的XRD谱第74-75页
     ·ZnO纳米线的生长机理推测第75-76页
   ·生长在极薄的ZnO缓冲层上的MgO多孔结构第76-80页
     ·样品制备第76-77页
     ·MgO多孔结构的SEM谱第77-78页
     ·MgO多孔结构的XRD谱第78-79页
     ·MgO多孔结构的生长机理推测第79-80页
   ·小结第80-81页
5 ZnO/MgO多层反射膜和AlN/ZnO双层膜第81-92页
   ·引言第81-83页
     ·ZnO/MgO多层反射膜简介第81-82页
     ·AlN/ZnO双层薄膜简介第82-83页
   ·ZnO/MgO多层反射膜的制备与特性第83-87页
     ·样品制备第83-85页
     ·ZnO/MgO多层反射膜的透射谱第85-86页
     ·ZnO/MgO多层反射膜的光致发光谱第86-87页
   ·AlN/ZnO双层膜制备与光致发光谱第87-91页
     ·样品制备第87页
     ·AlN/ZnO双层膜的常温光致发光谱第87-88页
     ·AlN/ZnO双层膜的低温光致发光谱第88-91页
   ·小结第91-92页
结论第92-94页
参考文献第94-100页
攻读博士学位期间发表学术论文情况第100-101页
致谢第101-102页
作者简介第102-103页

论文共103页,点击 下载论文
上一篇:二氧化硅介质层CMP抛光液研制及其性能研究
下一篇:WR公司转型第三方物流的战略与实施研究