电压定标高灵敏电光探测研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-31页 |
| §1.1 集成电路可靠性的研究进展 | 第15-19页 |
| ·集成电路的发展 | 第15-17页 |
| ·可靠性研究的意义及内容 | 第17-19页 |
| §1.2 集成电路检测技术 | 第19-26页 |
| ·集成电路检测技术的分类 | 第19-22页 |
| ·电光探测技术 | 第22-24页 |
| ·基于直流激光的外部探测技术 | 第24-26页 |
| §1.3 本论文的主要工作 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-31页 |
| 第二章 电光探测的电压定标的研究 | 第31-54页 |
| §2.1 电压定标的研究进展 | 第31-38页 |
| ·电光效应 | 第31-33页 |
| ·电光探测的机理 | 第33-36页 |
| ·电压定标的研究现状 | 第36-38页 |
| §2.2 电压定标的理论模拟 | 第38-45页 |
| ·有限差分法 | 第38-42页 |
| ·针对具体问题的电压差模拟 | 第42-45页 |
| §2.3 电压定标的实现 | 第45-51页 |
| ·GaAs 电光探头的制备 | 第45-47页 |
| ·电压定标方法 | 第47-48页 |
| ·共面波导样品制备 | 第48-49页 |
| ·电压定标结果 | 第49-51页 |
| 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第三章 压电共振提高电压灵敏度 | 第54-77页 |
| §3.1 逆压电效应对电光探测的影响 | 第55-62页 |
| ·逆压电效应 | 第55-57页 |
| ·压电共振现象 | 第57-59页 |
| ·压电共振对电光探测的影响 | 第59-62页 |
| §3.2 GaAs 压电共振的电光探测 | 第62-66页 |
| ·GaAs 电光探头的压电共振现象 | 第62-63页 |
| ·压电共振现象的验证 | 第63-64页 |
| ·压电共振的电压定标实验 | 第64-66页 |
| §3.3 ZnO 压电共振的电光探测 | 第66-72页 |
| ·ZnO 电光薄膜的制备 | 第66-72页 |
| ·ZnO 电光探头的压电共振现象 | 第72页 |
| 本章小结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第四章 基于极性液体的电光探测 | 第77-99页 |
| §4.1 极性液体的电极化 | 第78-84页 |
| ·电介质的极化 | 第78-82页 |
| ·分子极化率与电光效应的关系 | 第82-84页 |
| §4.2 液体材料的电光探测 | 第84-91页 |
| ·电光系数的测量 | 第84-87页 |
| ·液体材料的电光探测结构 | 第87-89页 |
| ·电光探测结果及讨论 | 第89-91页 |
| §4.3 液体材料的电光机理 | 第91-95页 |
| ·液体材料的电光特征 | 第91-93页 |
| ·物理模型分析 | 第93-95页 |
| 本章小结 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 第五章 基于液晶材料的电光探测 | 第99-123页 |
| §5.1 液晶材料的介绍 | 第99-106页 |
| ·液晶的分类 | 第99-102页 |
| ·液晶的各向异性 | 第102-104页 |
| ·液晶的电光特性 | 第104-106页 |
| §5.2 液晶聚合物材料的制备 | 第106-112页 |
| ·胆甾相液晶聚合物的电光特性 | 第106-108页 |
| ·聚合物和液晶材料的选择 | 第108-111页 |
| ·液晶聚合物的制备 | 第111-112页 |
| §5.3 液晶聚合物的电光探测 | 第112-119页 |
| ·电光系数的测量 | 第112-115页 |
| ·液晶聚合物的电光探测结构 | 第115-116页 |
| ·电光探测结果及讨论 | 第116-119页 |
| 本章小结 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-123页 |
| 第六章 总结和展望 | 第123-125页 |
| 作者简介 | 第125-128页 |
| 致谢 | 第128页 |
