| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·集成电路互连系统 | 第8-14页 |
| ·铜金属化和大马士革工艺 | 第8-9页 |
| ·低介电常数材料 | 第9-14页 |
| ·low-k 材料机械特性表征方法 | 第14-19页 |
| ·杨氏模量表征技术 | 第15-17页 |
| ·薄膜粘附性表征方法 | 第17-19页 |
| ·主要研究内容及创新点 | 第19-20页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| ·主要创新点 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 表面波在固体媒介中的传播特性 | 第21-42页 |
| ·表面波在半无限大固体中传播特性 | 第21-27页 |
| ·表面波在各向同性媒介中传播 | 第23-25页 |
| ·表面波在各向异性媒介中传播 | 第25-27页 |
| ·表面波在分层媒介中传播特性 | 第27-36页 |
| ·表面波在单层薄膜/基底结构中传播特性 | 第28-33页 |
| ·表面波在多层薄膜/基底结构中传播特性 | 第33-36页 |
| ·界面粘附性对表面波色散曲线影响 | 第36-39页 |
| ·表面波在带有Cu 布线结构中传播 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 激光声表面波技术 | 第42-56页 |
| ·声表面波的激发与检测 | 第42-47页 |
| ·激光激发声表面波原理 | 第42-44页 |
| ·表面波检测方法 | 第44-46页 |
| ·激光表面波技术检测系统 | 第46-47页 |
| ·激光表面波技术检测材料机械性能原理 | 第47-55页 |
| ·声表面波色散原理 | 第47-49页 |
| ·实验信号分析 | 第49-51页 |
| ·最小二乘法拟合实验与理论色散曲线 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 LSAWs 技术检测low-k 介质机械性能实验结果及分析 | 第56-68页 |
| ·LSAWs 技术表征low-k 介质杨氏模量 | 第56-64页 |
| ·掺Cs 多孔SiO_2 low-k 介质杨氏模量表征 | 第56-61页 |
| ·LSAWs 技术检测杨氏模量和泊松常数的双向检测方法 | 第61-64页 |
| ·LSAWs 技术表征薄膜/基底界面粘附性 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 附录A | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
