| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 英文符号对照表 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 图形保真技术研究必要性 | 第13-15页 |
| 1.2 研究背景及国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 光刻技术简介 | 第15-16页 |
| 1.2.2 偏振效应对图形保真的影响研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 图形保真技术研究现状 | 第18-22页 |
| 1.3 本文研究内容及意义 | 第22-24页 |
| 1.3.1 偏振效应及其对图形保真的影响 | 第22-23页 |
| 1.3.2 解析的光源、掩模、NA 协同优化 | 第23页 |
| 1.3.3 光刻机、工艺、掩模多参数协同优化 | 第23-24页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第24-25页 |
| 第2章 多因素分别对图形保真的影响 | 第25-55页 |
| 2.1 光刻成像理论基础 | 第25-31页 |
| 2.1.1 空间像成像 | 第26-29页 |
| 2.1.2 光刻胶成像 | 第29-31页 |
| 2.2 评价图形保真的参数 | 第31-33页 |
| 2.3 偏振效应对图形保真的影响 | 第33-48页 |
| 2.3.1 偏振照明对图形保真的影响 | 第34-42页 |
| 2.3.2 偏振像差对图形保真的影响 | 第42-48页 |
| 2.4 光刻机、工艺、掩模参数分别对图形保真的影响 | 第48-52页 |
| 2.4.1 光刻机参数对图形保真的影响 | 第48-49页 |
| 2.4.2 工艺参数对图形保真的影响 | 第49-52页 |
| 2.4.3 掩模参数对图形保真的影响 | 第52页 |
| 2.5 两个因素共同对图形保真的影响 | 第52-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第3章 多参数协同优化方法基础 | 第55-64页 |
| 3.1 综合评价函数构建 | 第55-56页 |
| 3.2 单一参数优化算法 | 第56-60页 |
| 3.3 多参数协同优化方法 | 第60-63页 |
| 3.3.1 协同优化流程 | 第60-62页 |
| 3.3.2 基于导数优化算法 | 第62-63页 |
| 3.3.3 光刻参数优化中导数的计算方法 | 第63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 解析的光源、掩模、NA 协同优化方法 | 第64-91页 |
| 4.1 解析的光源、掩模、NA 函数 | 第65-72页 |
| 4.1.1 光源函数 | 第66-68页 |
| 4.1.2 掩模函数 | 第68-71页 |
| 4.1.3 NA 函数 | 第71-72页 |
| 4.2 评价函数 | 第72-74页 |
| 4.3 解析的 SMNO 方法 | 第74-80页 |
| 4.3.1 有边界条件约束优化问题转变为无边界条件约束优化问题 | 第75页 |
| 4.3.2 光源函数的导数 | 第75-77页 |
| 4.3.3 掩模函数的导数 | 第77-79页 |
| 4.3.4 NA 函数的导数 | 第79-80页 |
| 4.4 解析的 SMNO 在无偏振像差系统中的应用 | 第80-85页 |
| 4.4.1 优化参数设置 | 第80-82页 |
| 4.4.2 优化结果及讨论 | 第82-85页 |
| 4.5 解析的 SMNO 在有偏振像差系统中的应用 | 第85-90页 |
| 4.5.1 偏振像差对图形保真的影响 | 第85-86页 |
| 4.5.2 SMNO 方法补偿偏振像差的影响 | 第86-90页 |
| 4.6 本章小结 | 第90-91页 |
| 第5章 光刻机、工艺、掩模多参数协同优化方法及应用 | 第91-110页 |
| 5.1 理想光刻系统的多参数协同优化 | 第91-104页 |
| 5.1.1 被优化的光刻机、工艺、掩模参数及其范围 | 第92页 |
| 5.1.2 评价函数 | 第92页 |
| 5.1.3 光刻机、工艺、掩模多参数协同优化方法 | 第92-95页 |
| 5.1.4 光刻多参数协同优化软件开发 | 第95-96页 |
| 5.1.5 优化结果及讨论 | 第96-100页 |
| 5.1.6 多参数优化相比像素化 SMO 的优越性 | 第100-103页 |
| 5.1.7 本节小结 | 第103-104页 |
| 5.2 存在偏振像差系统的多参数协同优化 | 第104-106页 |
| 5.3 多参数协同优化对实际光刻机成像性能的改善 | 第106-108页 |
| 5.4 本章小结 | 第108-110页 |
| 结论与展望 | 第110-114页 |
| 一、本论文研究工作取得的进展 | 第110-112页 |
| 二、本论文创新点 | 第112-113页 |
| 三、研究工作展望 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-125页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第125-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 作者简介 | 第129页 |
