| 目录 | 第2-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 引言 | 第6-12页 |
| 1.1 研究的背景与意义 | 第6-7页 |
| 1.2 隧穿晶体管的基本特性 | 第7-10页 |
| 1.3 隧穿晶体管的国际研究现状 | 第10-11页 |
| 1.4 本论文的主要内容与安排 | 第11-12页 |
| 第二章 隧穿晶体管的器件仿真 | 第12-28页 |
| 2.1 器件仿真工具简介 | 第12-19页 |
| 2.2 隧穿晶体管的器件仿真 | 第19-25页 |
| 2.3 仿真中需要注意的事项 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 隧穿晶体管中的量子效应 | 第28-43页 |
| 3.1 隧穿晶体管中的基本量子效应 | 第28页 |
| 3.2 量子效应对隧穿晶体管特性和可靠性的影响 | 第28-36页 |
| 3.3 隧穿晶体管和传统场效应晶体管的比较 | 第36-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 尺寸、材料和结构对隧穿晶体管特性和可靠性的影响 | 第43-61页 |
| 4.1 尺寸缩小对隧穿晶体管的特性和可靠性的影响 | 第43-51页 |
| 4.2 栅介质介电常数对隧穿晶体管特性和可靠性的影响 | 第51-55页 |
| 4.3 栅电极的排列对隧穿晶体管特性和可靠性的影响 | 第55-58页 |
| 4.4 隧穿结的掺杂分布对隧穿晶体管特性的影响 | 第58-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 一种改进型隧穿晶体管的结构参数优化 | 第61-74页 |
| 5.1 改进型隧穿晶体管的器件结构和原理 | 第61-64页 |
| 5.2 改进型隧穿晶体管的结构参数优化 | 第64-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结和展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 附录 TFET的ATLAS模拟输入文件 | 第81-83页 |
| 攻读硕士学位期间的论文发表情况 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
